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混合氣體化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號S-1200S-CVD

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-03-16 12:28:18瀏覽次數(shù):299次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:53條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

混合氣體化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過壓保護(hù)及冷凝等部分組成,可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn):
由高溫管式爐,真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),過壓保護(hù)及冷凝等部分組成,可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。
產(chǎn)品用途:
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用
產(chǎn)品參數(shù)

  • 機(jī)器電源:AC220V,50/60Hz;
  • 額定功率4kw
  • 爐管:高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小,能承受驟冷驟熱的溫度變化;
  • 爐管尺寸:Φ80*/1000mm
  • 加熱元件:0Cr27Al7Mo2
  • 加熱區(qū)長度:400mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1150℃
  • 升溫速率:≤10℃/min
  • 溫控系統(tǒng):溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能、30段升降溫程序
  • 測溫元件:N型熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 保護(hù)及提醒:超溫、斷偶故障警報(bào)及斷電保護(hù)、高精度質(zhì)量流量計(jì)通過數(shù)據(jù)接口連接電腦,配置軟件實(shí)時(shí)人機(jī)交互界面
  • 混氣系統(tǒng):四通道質(zhì)量流量控制,可同時(shí)通入四種不同氣體、內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥、每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥
  • 流量規(guī)格:0~30SLM
  • 控制精度:±1.0%F.S
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 冷凝系統(tǒng):采用低溫恒溫槽,溫度可達(dá)-20℃、內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌,采用KF接頭,清理收集方便、槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實(shí)驗(yàn)容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實(shí)驗(yàn)


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