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立式PECVD設(shè)備

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更新時(shí)間：2022-08-28 09:57:51瀏覽次數(shù)：470次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

立式PECVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜，此立式PECVD設(shè)備由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。
 

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開(kāi)啟式滑動(dòng)單溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)
 

 

產(chǎn)品特性：

此立式PECVD設(shè)備溫度范圍寬；濺射區(qū)域長(zhǎng)；整管可調(diào)；精致小巧，性價(jià)比高，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫，是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇。立式PECVD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。


 

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