PECVD設(shè)備

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更新時(shí)間：2018-05-16 15:49:39瀏覽次數(shù)：2070次

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：

商鋪產(chǎn)品：1條

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聯(lián)系人：朱先生

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品名稱：PECVD設(shè)備產(chǎn)品報(bào)價(jià)：面議

詳細(xì)介紹

設(shè)備主要特點(diǎn)

◆用工業(yè)微機(jī)對(duì)工藝時(shí)間,溫度,氣體流量,閥門(mén)動(dòng)作,反應(yīng)室壓力實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制.
◆采用進(jìn)口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)系統(tǒng),穩(wěn)定性高.
◆采用進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件,閥門(mén),確保氣路氣密性.
◆具有完善的報(bào)警功能及安全互鎖裝置.
◆具有超高溫報(bào)警及欠溫報(bào)警,MFC報(bào)警,反應(yīng)室壓力報(bào)警,RF報(bào)警,高壓空氣壓力報(bào)警,N2壓力報(bào)警.水流報(bào)警等。

類型

◆工藝過(guò)程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*控；有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安全、環(huán)保。
◆裝片數(shù)量： 250片/每爐管
◆凈化臺(tái)潔凈度：100級(jí)（10000級(jí)廠房）
◆自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。主控溫控模塊采用日本導(dǎo)電或同類品牌，可在達(dá)到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。我公司推拉系統(tǒng)采用光杠傳動(dòng)系統(tǒng)，本系統(tǒng)比絲杠傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)行更平穩(wěn)，避免了推拉舟長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后由于絲杠變形引起的推拉舟的震動(dòng)；防止突然斷電時(shí)，絲杠抱死，拖不出爐膛。

設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)

◆ 溫度使用范圍：150～600℃

◆ 極限真空度：優(yōu)于1Pa

◆ 壓力調(diào)節(jié)范圍：13～300Pa 連續(xù)可調(diào)，閉環(huán)控制

◆ 射頻電源： 400KHz連續(xù)可調(diào)

◆ 溫區(qū)長(zhǎng)度（150～400℃）：1000mm

◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（400℃）： ±2℃

◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（＜400℃）： ±3℃

◆ 溫度梯度： 0～30℃/1000mm可調(diào)

◆ 淀積速率： 30nm/min

◆ 深層折射率： 1.9～2.2

◆ zui大可控升溫速度：15℃/min