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高純水設(shè)備

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更新時(shí)間:2022-05-23 12:14:53瀏覽次數(shù):220次

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1、主題內(nèi)容與通用范圍  本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級(jí)別、技術(shù)要求、測(cè)試方法和規(guī)則

詳細(xì)介紹


   1 、主題內(nèi)容與通用范圍

  本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水(以下稱高純水)的級(jí)別、技術(shù)要求、測(cè)試方法和規(guī)則。

  本標(biāo)準(zhǔn)適用于去離子處理后的高純水。

  2 、引用標(biāo)準(zhǔn):GB11446電子級(jí)水及其檢測(cè)方法。

  3 、術(shù)語(yǔ)

  3.1 電導(dǎo)率 Electrical conductivity

  在規(guī)定溫度下,1cm3水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值的倒數(shù)。電導(dǎo)率通常以μS/cm為單位。

  純水的理論電導(dǎo)率為0.05482 μs/cm (25℃時(shí))。

  3.2 電阻率 Resistivity,電導(dǎo)率之倒數(shù)。

  純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時(shí))。溫度升高時(shí)電阻率下降。

  3.3 總?cè)芙庑怨腆w Total dissolved solids(TDS)

  水中溶解物質(zhì)的總含量,包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質(zhì)、病毒、細(xì)菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。

  3.4 總硬度(DH值)

  水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。

硬度一般以德國(guó)標(biāo)示法為準(zhǔn),計(jì)為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。



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