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半導(dǎo)體芯片用12t/h超純水設(shè)備

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蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

12t/h半導(dǎo)體用超純水設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中各種沖洗用水，對(duì)水的純度要求比較高，涉及到電阻率、溶解氧、TOC、二氧化硅、微生物等各種指標(biāo)，要求比較嚴(yán)苛

詳細(xì)介紹

12t/h半導(dǎo)體用超純水設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中各種沖洗用水，對(duì)水的純度要求比較高，涉及到電阻率、溶解氧、TOC、二氧化硅、微生物等各種指標(biāo)，要求比較嚴(yán)苛。

一、原水水質(zhì)及水量要求

1、要求系統(tǒng)進(jìn)水量16~20m3/h，才能確保產(chǎn)水量≥12m3/h。

2、原水含鹽量較穩(wěn)定，原水電導(dǎo)率設(shè)計(jì)按照≤800微西門子設(shè)計(jì)，變化系數(shù)K≤1.2，其它指標(biāo)參考生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)。

二、系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)表
序號(hào)	項(xiàng)目	CL-12t/h型高純水設(shè)備
1	設(shè)備額定功率	約52KW
2	電源	380V AC 50HZ 三相五線
3	系統(tǒng)總回收率	65~75百分之
4	反滲透系統(tǒng)回收率	75百分之
4	反滲透出水水質(zhì)	≤15μS/CM
5	二級(jí)反滲透系統(tǒng)回收率	80~85百分之
5	二級(jí)反滲透出水水質(zhì)	≤4μS/CM
6	EDI電除鹽主機(jī)回收率	90百分之
6	EDI出水水質(zhì)	≥16MΩ.cm
7	拋光混床回收率	100百分之
7	拋光混床出水	≥18.2MΩ.cm
8	進(jìn)水口徑	DN80 PN1.0法蘭接口
9	出水口徑	DN65 PN1.0法蘭接口
10	排污口徑	DN100 PN1.0法蘭接口

三、主要工藝介紹

3.1、反滲透系統(tǒng)

反滲透裝置在工藝中主要去除水中99百分之以上的陰、陽(yáng)離子及有機(jī)物、熱源和細(xì)菌等。反滲透（RO）脫鹽系統(tǒng)由RO膜組件、高壓泵、RO清洗裝置等組成。

反滲透是一種借助選擇透過(guò)（半透過(guò)）性膜的功能，以壓力為推動(dòng)力的膜分離技術(shù)膜元件，由反滲透膜導(dǎo)流布和管等制作而成，將多根RO元件裝入不銹鋼耐壓殼體內(nèi)，組成RO組件。本工藝脫鹽系統(tǒng)的關(guān)鍵，成熟的工藝設(shè)計(jì)和合理的操作，控制及管理，直接決定著系統(tǒng)的正常、穩(wěn)定出水。并關(guān)系到反滲透膜的使用壽命，經(jīng)反滲透處理后的出水，去除了絕大部分無(wú)機(jī)鹽和幾乎所有的有機(jī)物，微生物（細(xì)菌、熱源等）從而確保了本系統(tǒng)產(chǎn)品水的高質(zhì)量、高品質(zhì)。

完成預(yù)處理后的出水其出水由淤積密度指數(shù)SDI測(cè)試儀監(jiān)測(cè)，當(dāng)SDI值<4時(shí)，即可進(jìn)入RO系統(tǒng)，由高壓泵增壓后進(jìn)入反滲透系統(tǒng)（RO），反滲透出水（脫鹽純水）去中間水箱，另一部分由管道匯集后成濃水（主要含鹽份、機(jī)械雜質(zhì)、膠體、有機(jī)物等）隨小部分未透過(guò)水排入下水道。反滲透主體設(shè)備選用美國(guó)海德能公司生產(chǎn)的高脫鹽率低壓CPA3LD-8040芳香族聚酰胺膜元件。該膜元件屬節(jié)能型低壓膜，是世界上先進(jìn)的卷式RO膜元件，具有結(jié)構(gòu)緊湊，產(chǎn)水量特別大（單支RO膜產(chǎn)水量可達(dá)1.3t/h），脫鹽率高（單支膜試驗(yàn)數(shù)據(jù)>99.7百分之），操作壓力低，耐細(xì)菌侵蝕性好，適用PH范圍廣（PH為3~10）的優(yōu)點(diǎn)。

3.2、EDI電除鹽系統(tǒng)

EDI（Electrodeionization）是應(yīng)用電再生離子交換樹脂除鹽工藝來(lái)取代傳統(tǒng)的混合離子交換除鹽工藝的一種革命性水處理技術(shù)。EDI工藝采用一種離子選擇性膜和離子交換樹脂夾在直流電壓下的兩個(gè)電端之間，在兩端的直流電源電場(chǎng)從RO預(yù)處理過(guò)的水中去除離子。流入EDI模塊的RO水被分成了三股獨(dú)立的水流：產(chǎn)水水流、濃水水流和水流。EDI工藝從水中去除不想要的離子，依靠在淡水室的樹脂吸附離子，然后將它們遷移到濃水室中。離子交換反應(yīng)在模塊的淡水室中進(jìn)行，在那里陰離子交換樹脂釋放出氫氧根離子（OH^-）而從溶解鹽中交換陰離子（如氯化物、Cl^-）。同樣，陽(yáng)離子交換樹脂釋放出氫離子(H⁺)而從溶解鹽中交換陽(yáng)離子(Na⁺)。高質(zhì)量的模塊可以連續(xù)產(chǎn)生高達(dá)18MΩ.CM的高純水。通過(guò)這種技術(shù)，可以用較低的能源成本就能去除溶解鹽，并且不需要化學(xué)。

EDI的特點(diǎn)：