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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>晶圓鍵合系統(tǒng)>> EVG GEMINI FB晶圓鍵合系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG GEMINI FB是一款全自動具備高精度對準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺，實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化，主要應(yīng)用于存儲器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·最多配置6個預(yù)處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對準(zhǔn)驗證模塊、解鍵合模塊等。
·采用SmartView NT3對準(zhǔn)技術(shù)，對準(zhǔn)精度＜50nm
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