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更新時(shí)間：2024-04-27 07:06:46瀏覽次數(shù)：318次
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EVG SmartView NT是一款全自動(dòng)量產(chǎn)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，適用于三維互連、晶圓級(jí)封裝、高產(chǎn)量MEMS，可以作為模塊集成在EVG560鍵合設(shè)備或者GEMINI平臺(tái)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對(duì)準(zhǔn)
·支持：面對(duì)面對(duì)準(zhǔn)、背面對(duì)準(zhǔn)、紅外對(duì)準(zhǔn)和透明對(duì)準(zhǔn)
·可升級(jí)至自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
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EVG 620BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
EVG 620BA是一款半自動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，擁 |
EVG 6200BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
EVG 6200BA是一款自動(dòng)量產(chǎn)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，擁請(qǐng)輸入賬號(hào)
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