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當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>測試與輔助工藝設(shè)備>> EVG 620BA對準系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 620BA是一款半自動研發(fā)型鍵合對準設(shè)備，采用雙面光學(xué)對準，擁有全自動高分辨率底部攝像頭，適合于EVG501、EVG510、EVG520鍵合機的鍵合對準。
主要特點及參數(shù)：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準
·對準精度：
底部對準精度≤±2μm 3σ
透明對準精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對準
·可升級至自動對準
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