【產(chǎn)品簡介】
centrotherm c.VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能而設(shè)計，并具有高度的靈活性，適于所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓化學(xué)氣相沉積工藝。優(yōu)化的單管雙舟傳送系統(tǒng)，使搬運(yùn)時間縮至最短，同時降低擁有成本與維修成本。
【適用工藝】
·退火
·氧化
·擴(kuò)散
·LPCVD
【主要優(yōu)點(diǎn)】
·每批加工量多達(dá)150片晶圓
·自對準(zhǔn)
·雙舟輸送
·水冷加熱匣
·占地面積小
·可以并排安裝
環(huán)保在線