Dimension®FastScan ™是布魯克公司基于世界上使用最多的原子力顯微鏡平臺的一個技術(shù)創(chuàng)新??焖賿呙柘到y(tǒng)與超穩(wěn)定,低噪音平臺相結(jié)合,無論是超低噪聲,高精度掃描,還是高速率的掃描, 均使得該系統(tǒng)超過您實驗室購買的任何單一設(shè)備,實現(xiàn)真正的物超所值。為滿足原子力顯微鏡使用者對提高使用效率的需求,這套快速掃描系統(tǒng),在不降低分辨率,不增加設(shè)備復(fù)雜性,不影響儀器操作成本的前提下,幫助用戶實現(xiàn)了即時快速得到高分辨高質(zhì)量圖像的愿望。FastScan ™這一變革性技術(shù)重新定義了原子力顯微鏡的新高度。
| Icon AFM 掃描管 | FastScan AFM 掃描管 |
XY 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值) | 35μm x 35μm(典型值), 30μm 最小值) |
Z 方向掃描范圍 | 10μm(典型值),9.5μm(最小值) | ≥ 3μm |
縱向噪音水平 | <30pm RMS 值(在合適的環(huán)境下,典型的成像帶寬可達(dá) 625Hz) | <40pm RMS 值(在合適的環(huán)境下,典型的成像帶寬可達(dá) 625Hz) |
X-Y 針尖速度 (1% 軌跡誤差 ) |
| >2mm/S |
Z 針尖速度 |
| 12mm/S |
XY 方向閉環(huán)噪音水平 | ≤ 0.15nm RMS 值(典型的成像帶寬條件可達(dá) 625Hz) | ≤ 0.20nm RMS(典型的成像帶寬條件可達(dá) 2.5KHz) |
Z方向閉環(huán)噪音水平 | 35pm RMS 值(在合適的環(huán)境下,典型的成像帶寬可達(dá) 625Hz);50pm RMS 值,力曲線帶寬 (0.1Hz 到 5kHz) | 30pm RMS (在合適的環(huán)境下,典型的成像帶寬可達(dá) 625Hz) |
XY 方向平坦度(30μm 范圍) |
| ≤ 3nm |
XYZ 方向的非線性參數(shù) | <0.5% | <0.5% |
樣品尺寸和固定方式 | 210mm 直徑,真空吸附,≤ 15mm 厚 | 210mm 直徑,真空吸附,≤ 15mm 厚 |
180mm × 150mm 可 觀 測 區(qū) 域; 單 向 2μm 重復(fù)性;雙向 3μm 重復(fù)性 | 180mm × 150mm 可 觀 測 區(qū) 域; 單 向 2μm 重復(fù)性;雙向 3μm 重復(fù)性 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 5 百 萬 像 素 數(shù) 字 攝 像 頭;180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放,馬達(dá)驅(qū)動聚焦 | 5 百 萬 像 素 數(shù) 字 攝 像 頭;130μm 至 1040μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放,馬達(dá)驅(qū)動聚焦 |
控制器 | NanoScope V | NanoScope V |
震動隔離 | 可選防震平臺或隔音防震平臺,氣動式 | 可選防震平臺或隔音防震平臺,氣動式 |