Dimension® Edge ™ 原子力顯微鏡采用，其儀器性能、測試功能和操作性在同類產(chǎn)品中處于。是 Dimension 系列中的閉環(huán)掃描原子力顯微鏡，的傳感器設(shè)計顯著地降低噪音和漂移，既獲得了閉環(huán)的精度，又具有開環(huán)的噪音水平，在大樣品臺AFM上實現(xiàn)了小樣品臺AFM的成像性能。
X-Y 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） |
Z 方向掃描范圍 | 10μm（典型值）， 9.5μm（最小值） |
縱向噪音水平 | <50pm RMS 值（在合適的環(huán)境，典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz)） |
XY 方向閉環(huán)噪音水平 | <0.15nm RMS 值（在典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz)） |
XYZ 三方向的非線性 | <0.5%（典型值） |
樣品尺寸和固定方式 | 150mm 直徑，真空吸附，15mm 厚 ; 可選擇墊塊的情況下，可達(dá) 40mm 厚 |
150mm x 150mm 可觀測區(qū)域； 可真空吸附， 可編程進(jìn)行多區(qū)域掃描，可 360 旋轉(zhuǎn) | |
光學(xué)系統(tǒng)及下針機(jī)制 | 5 百萬像素數(shù)字?jǐn)z像頭； 180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放，馬達(dá)驅(qū)動聚焦 ，單軸垂直下針，軟件自動控制 |
信號輸入輸出 | 控制器內(nèi)置可配置的信號輸入 / 輸出 ; 包括可定制的信號輸入輸出，數(shù)字化反饋和雙數(shù)字化鎖相放大器 |
單點(diǎn)譜線 | 三軸閉環(huán)控制可實現(xiàn) point-and-shoot 式定位和譜線測量 ; 內(nèi)置了熱調(diào)諧方式的彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能 ; |
溫度控制 | 可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件； 包括氣體充換功能； |
環(huán)保在線