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詳細(xì)介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本、重要的應(yīng)用之一 。
自動(dòng)橢圓偏振測厚儀儀器特點(diǎn)：
●儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
●精度高、自動(dòng)控制
●光源采用氦氖激光，波長精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要
●軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求
自動(dòng)橢圓偏振測厚儀的主要技術(shù)指標(biāo)：
| 編號(hào)名稱參數(shù)1測量范圍1nm～4000nm2測量小值≤1nm3鍍膜折射率范圍1.300～10.0004入射角40°～90° 誤差≤0.05°5偏振器方位角讀數(shù)范圍0°～180°6偏振器步進(jìn)角0.0375°/步7測量精度±0.5nm（10nm，±0.5nm）8光學(xué)中心高度75mm9工作臺(tái)直徑φ10mm～φ120mm10厚度≤10mm |
我公司是一家專業(yè)代理進(jìn)口、國產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室檢測、工業(yè)計(jì)量儀器設(shè)備及科研的有限責(zé)任公司，國內(nèi)的儀器設(shè)備供應(yīng)商、技術(shù)服務(wù)及應(yīng)用方案提供商。
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