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MDPlinescan在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀

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更新時間：2021-06-30 09:05:21瀏覽次數(shù)：388次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

在線面掃和單點檢測應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制

詳細介紹

在線面掃和單點檢測

應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

產(chǎn)品介紹

各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。
MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
該儀器有許多專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎測量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢

在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優(yōu)勢是長時間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。

技術參數(shù)

樣品種類	多晶或單晶晶元片，晶錠，晶胞
樣品尺寸	大約50 x 50 mm²
電阻率	0.2 - 10³ Ohm cm
電導類型	p, n
材質(zhì)	硅晶圓，部分或*加工晶圓，化合物半導體等
測量屬性	載流子的少子壽命
硬件接口	ethernet
大小	174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg
電源	24 V DC, 2 A