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MDPlinescan在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)儀

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束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制

詳細(xì)介紹

在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)

應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè)，每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來(lái)料質(zhì)量檢查是的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

還有許多其他的專門(mén)應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。

產(chǎn)品介紹

各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長(zhǎng)的晶片到加工過(guò)的晶片，都可以通過(guò)MDPlinescan使用少子壽命測(cè)量進(jìn)行檢測(cè)。
MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè)，每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。
該儀器有許多專門(mén)應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如，電池生產(chǎn)線上的來(lái)料質(zhì)量檢查是其的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎(chǔ)測(cè)量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢(shì)

在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易。優(yōu)勢(shì)是長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和測(cè)量結(jié)果的高精度。

技術(shù)參數(shù)

樣品種類	多晶或單晶晶元片，晶錠，晶胞
樣品尺寸	大約50 x 50 mm²
電阻率	0.2 - 10³ Ohm cm
電導(dǎo)類型	p, n
材質(zhì)	硅晶圓，部分或*加工晶圓，化合物半導(dǎo)體等
測(cè)量屬性	載流子的少子壽命
硬件接口	ethernet
大小	174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg
電源	24 V DC, 2 A