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MDPinline 晶圓片在線面掃檢測儀

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束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀

詳細(xì)介紹

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。

通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內(nèi)就能形成單個(gè)硅片的二維圖像。

該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此在連續(xù)操作下也非?？煽?。它為每個(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止的。例如，在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)，對10000個(gè)晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)評估，結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)行的生產(chǎn)過程中，MDPinline可以立即檢測到某個(gè)處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達(dá)到的性能。

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，可對一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識(shí)別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數(shù)

樣品厚度	100 μm up to 1 mm
樣品尺寸	在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18”
電阻率	0.2 - 103 Ohm cm
傳導(dǎo)類型	p, n
材質(zhì)	硅晶圓，部分或*加工的晶圓片，復(fù)合半導(dǎo)體等
測量性能	少數(shù)載流子壽命（穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的）
測量位置	默認(rèn)2.8 mm，其它可選
檢測時(shí)間	獲得完整的一張晶圓圖時(shí)間小于1秒
尺寸	400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg
電源	24 V DC, 4 A