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MDPpro 晶圓片/晶錠壽命檢測儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時(shí)間：2021-06-30 08:21:06瀏覽次數(shù)：282次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：91條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：丁林 （市場部經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

Mono-andMulti-crystallinewaferandbricklifetimemeasurementdevice應(yīng)用范圍：用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無損成像(PCD/MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查

詳細(xì)介紹

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

應(yīng)用范圍：用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

 

 

根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割，爐內(nèi)監(jiān)控，材料優(yōu)化等。


日常壽命測量，質(zhì)量控制和檢驗(yàn) 

  1. 產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天
  2. 測量速度：對于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠，<4分鐘
  3. 生產(chǎn)改善：1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
  4. 質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅
  5. 污染測定：起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)
  6. 可靠性：模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器，更高的可靠性和運(yùn)行時(shí)間> 99%
  7. 可重復(fù)性:> 99.5%
  8. 電阻率：不需要經(jīng)常校準(zhǔn)

精密材料研發(fā)

  1. 陷阱濃度測定
  2. 硼氧測定
  3. 依賴于注入的測量等
  4. 鐵濃度測定

特性

  1. *無觸點(diǎn)無破壞的半導(dǎo)體特性
  2. 特殊的“表面之下”壽命測量技術(shù)
  3. 不可見缺陷的 靈敏度的可視化
  4. 自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義
  5. 空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測

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