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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
產(chǎn)品型號(hào)MS-450
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2025-05-29 18:26:17瀏覽次數(shù)：270次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 磁控靶 | 3個(gè)3英寸 |
|---|---|---|---|
| 濺射電源 | 2個(gè)直流1個(gè)射頻 | 樣品臺(tái) | 溫度800℃，4英寸 |
| 真空獲得 | 8*10-5Pa | 充氣系統(tǒng) | 2路質(zhì)量流量計(jì) |
高真空多靶磁控濺射鍍膜機(jī)真空鍍膜設(shè)備
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，前開門結(jié)構(gòu)；
真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國產(chǎn)可選）；
極限真空：優(yōu)于5?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺(tái)：2～6英寸基片臺(tái)，靶基距60～120mm連續(xù)在線自動(dòng)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至500
高真空多靶磁控濺射鍍膜機(jī)真空鍍膜設(shè)備
MS-450高真空多靶磁控濺射鍍膜機(jī)
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，前開門結(jié)構(gòu)；
真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國產(chǎn)可選）；
極限真空：優(yōu)于5?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺(tái)：2～6英寸基片臺(tái)，靶基距60～120mm連續(xù)在線自動(dòng)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；
磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級(jí)成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動(dòng)匹配的射頻濺射電源可任選；
質(zhì)量流量計(jì)：2～3路工藝氣體，可根據(jù)工藝要求增加；
膜厚監(jiān)控儀：可選配國產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。
高真空多靶磁控濺射鍍膜機(jī)真空鍍膜設(shè)備
我們的產(chǎn)品嚴(yán)格遵照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并執(zhí)行原材料檢驗(yàn)、加工在線檢測(cè)、半成品檢測(cè)及成品出廠檢測(cè)，對(duì)于非標(biāo)定制的產(chǎn)品與客戶聯(lián)合檢測(cè)驗(yàn)收；需要特別指出的是對(duì)于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴(yán)格的觀察檢驗(yàn)及氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏測(cè)試，并對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行漏率測(cè)試，系統(tǒng)漏率優(yōu)于 8.0×10-8 Pa.L/S。
維意真空踐行“先服務(wù)，后銷售"原則，承諾對(duì)本公司銷售的產(chǎn)品提供不少于12個(gè)月的質(zhì)保服務(wù)（可根據(jù)客戶要求提供延保服務(wù)），質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的維修免費(fèi)。質(zhì)保期外，提供終身服務(wù)。對(duì)于操作故障，本公司在接到故障通知2小時(shí)內(nèi)給予解答；對(duì)于設(shè)備故障，公司在接到故障通知后，北京地區(qū)12小時(shí)內(nèi)派技術(shù)人員到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)處理，外阜地區(qū)48小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
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