美國(guó)BIRD 8921SC13油射線RF終止負(fù)載以實(shí)現(xiàn)最大的過(guò)程可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)的RF電源到腔室的關(guān)鍵組件是RF發(fā)電機(jī)的校準(zhǔn)，調(diào)節(jié)和監(jiān)視?，F(xiàn)在，Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負(fù)載，可快速，精確地測(cè)量發(fā)電機(jī)功率輸出時(shí)，與精確的功率傳感器（例如Bird 4020系列）一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR，而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準(zhǔn)不同的時(shí)間長(zhǎng)度，不需要負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以大程度地減少與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯(cuò)誤，并控制更關(guān)鍵的過(guò)程變量之一。

  美國(guó)BIRD 8921SC13油射線RF終止負(fù)載操作與維護(hù)要點(diǎn)如下：

?安裝規(guī)范?：

使用扭矩扳手固定LC連接器，避免機(jī)械應(yīng)力損傷接口3；

負(fù)載需豎直安裝，確保冷卻油均勻分布8。

?校準(zhǔn)要求?：

配合4421A系列功率計(jì)進(jìn)行定期零點(diǎn)校準(zhǔn)，推薦周期12個(gè)月56；

校準(zhǔn)過(guò)程中需固定信號(hào)源輸出，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)衰減器修正系統(tǒng)誤差6。

?安全警示?：

避免超過(guò)236℃工作溫度，防止冷卻油碳化失效13；

高功率測(cè)試時(shí)需啟用互鎖熱開關(guān)功能，防止意外過(guò)熱1。

?典型配置方案?：8921SC13負(fù)載 + BAN4020功率傳感器 + 4421A功率計(jì)，構(gòu)成射頻功率校準(zhǔn)系統(tǒng)

   美國(guó)BIRD 8921SC13油射線RF終止負(fù)載技術(shù)參數(shù)：

電力等級(jí)5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名義）VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB，穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100％穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC（女性） - 通常提供互鎖熱開關(guān) - 可選通常關(guān)閉。在236°C（457°F）處打開熱開關(guān)等級(jí)115 VAC，10 A

230 VAC，5 A溫度范圍操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存儲(chǔ)： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）濕度95％的無(wú)調(diào)最大。冷卻方法油介電和對(duì)流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過(guò)濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。