美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載以實現(xiàn)最大的過程可重復性和一致性，現(xiàn)代等離子體應用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保準確且可重復的RF電源到腔室的關(guān)鍵組件是RF發(fā)電機的校準，調(diào)節(jié)和監(jiān)視。現(xiàn)在，Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負載，可快速，精確地測量發(fā)電機功率輸出時，與精確的功率傳感器（例如Bird 4020系列）一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR，而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準不同的時間長度，不需要負載熱身或重復性風險。這可以大程度地減少與此校準相關(guān)的錯誤，并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。

  美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載操作與維護要點如下：

?安裝規(guī)范?：

使用扭矩扳手固定LC連接器，避免機械應力損傷接口3；

負載需豎直安裝，確保冷卻油均勻分布8。

?校準要求?：

配合4421A系列功率計進行定期零點校準，推薦周期12個月56；

校準過程中需固定信號源輸出，通過標準衰減器修正系統(tǒng)誤差6。

?安全警示?：

避免超過236℃工作溫度，防止冷卻油碳化失效13；

高功率測試時需啟用互鎖熱開關(guān)功能，防止意外過熱1。

?典型配置方案?：8921SC13負載 + BAN4020功率傳感器 + 4421A功率計，構(gòu)成射頻功率校準系統(tǒng)

   美國BIRD 8921SC13油射線RF終止負載技術(shù)參數(shù)：

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名義）VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB，穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100％穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC（女性） - 通常提供互鎖熱開關(guān) - 可選通常關(guān)閉。在236°C（457°F）處打開熱開關(guān)等級115 VAC，10 A

230 VAC，5 A溫度范圍操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存儲： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）濕度95％的無調(diào)最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。