在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、氣象、環(huán)保、國(guó)防、科研、航天等部門,經(jīng)常需要對(duì)環(huán)境濕度進(jìn)行測(cè)量及控制。但在常規(guī)的環(huán)境參數(shù)中,濕度是zui難準(zhǔn)確測(cè)量的一個(gè)參數(shù)。用干濕球濕度計(jì)或毛發(fā)濕度計(jì)來(lái)測(cè)量濕度的方法,早已無(wú)法滿足現(xiàn)代科技發(fā)展的需要。這是因?yàn)闇y(cè)量濕度要比測(cè)量溫度復(fù)雜的多,溫度是個(gè)獨(dú)立的被測(cè)量,而濕度卻受其他因素（大氣壓強(qiáng)、溫度）的影響。此外,濕度的標(biāo)準(zhǔn)也是一個(gè)難題。國(guó)外生產(chǎn)的濕度標(biāo)定設(shè)備價(jià)格十分昂貴。

近年來(lái),國(guó)內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長(zhǎng)足進(jìn)步。濕敏傳感器正從簡(jiǎn)單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢測(cè)的方向迅速發(fā)展,為開(kāi)發(fā)新一代濕度/溫度測(cè)控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件,也將濕度測(cè)量技術(shù)提高到新的水平。

1 濕敏元件的特性

濕敏元件是zui簡(jiǎn)單的濕度傳感器。濕敏元件主要電阻式、電容式兩大類。

1.1 濕敏電阻

濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜,當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí),元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化,利用這一特性即可測(cè)量濕度。濕敏電阻的種類很多,例如金屬氧化特濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高,主要缺點(diǎn)是線性度和產(chǎn)品的互換性差。

1.2 濕敏電容

濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的,常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酷酸醋酸纖維等。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí),濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化,使其電容量也發(fā)生變化,其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化,其精度一般比濕敏電阻要低一些。國(guó)外生產(chǎn)濕敏電容的主廠家有Humirel公司、Philips公司、Siemens公司等。以Humirel公司生產(chǎn)的SH1100型濕敏電容為例,其測(cè)量范圍是（1%～99%）RH,在55%RH時(shí)的電容量為180pF（典型值）。當(dāng)相對(duì)濕度從0變化到100%時(shí),電容量的變化范圍是163pF～202pF。溫度系數(shù)為0.04pF/℃,濕度滯后量為±1.5%,響應(yīng)時(shí)間為5s。

除電阻式、電容式濕敏元件之外,還有電解質(zhì)離子型濕敏元件、重量型濕敏元件（利用感濕膜重量的變化來(lái)改變振蕩頻率）、光強(qiáng)型濕敏元件、聲表面波濕敏元件等。濕敏元件的線性度及抗污染性差,在檢測(cè)環(huán)境濕度時(shí),濕敏元件要暴露在待測(cè)環(huán)境中,很容易被污染而影響其測(cè)量精度及穩(wěn)定性。
表1 集成濕度傳感器的主要技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號(hào)	測(cè)量范圍/（%RH）	測(cè)量精度/（%RH）	電源電壓/V	電源電流μA	輸出范圍或輸出形式	工作溫度范圍/℃	主要特點(diǎn)
HIH-3602/05/10	0～100	±2	4～5.8	200	0.8V～3.9	-40～+85	線性電壓輸出線, HIH-3610的性能, 抗污染能力zui強(qiáng)
HM1500	0～100	±3	5	400	1V～4V	-30～+60	線性電壓輸出式, 互換性好,不怕水浸。 HM1520特別適合測(cè)量低溫度
HM1520	0～20	±2	5	400	1V～1.6V	-30～+60	線性頻率輸出式
HF3223	10～95	±5	5	100	9650Hz～8030Hz	-40～+85	頻率/溫度輸出線,帶NTC熱敏電阻測(cè)量溫度
HTF3223	10～95	±5	5	100	9650Hz～8030Hz,還能輸出代表-30℃～+80℃溫度的電阻值	-40～+85	頻率/溫度輸出線,帶NTC熱敏電阻測(cè)量溫度
SHT11/15	10～95	±3.5/±2	2.45.5	28μA（12位）	串

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濕度傳感器發(fā)展趨勢(shì)

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