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真空磁控濺射鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于家電電器、鐘表、燈具、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層。所謂“濺射"就是用荷能粒子（通常用氣體正離子）轟擊物體，從而引起物體表面原子從母體中逸出的現(xiàn)象，早在1842年Grove在實(shí)驗(yàn)室中就發(fā)現(xiàn)了這種現(xiàn)象。

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真空磁控濺射鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于家電電器、鐘表、燈具、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層。所謂“濺射”就是用荷能粒子（通常用氣體正離子）轟擊物體，從而引起物體表面原子從母體中逸出的現(xiàn)象，早在1842年Grove在實(shí)驗(yàn)室中就發(fā)現(xiàn)了這種現(xiàn)象。磁控濺射靶采用靜止電磁場(chǎng)，磁場(chǎng)為曲線形，均勻電場(chǎng)和對(duì)數(shù)電場(chǎng)則分別用于平面靶和同軸圓柱靶。電子在電場(chǎng)作用下，加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，若電子具有足夠的能量（約為30ev）時(shí)，則電離出Ar+并產(chǎn)生電子，電子飛向基片，Ar+在電場(chǎng)作用下，加速飛向陰極（濺射靶）并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。

關(guān)鍵詞：鍍膜機(jī)