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上海士鋒生物科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第14年

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標(biāo)準(zhǔn)品
培養(yǎng)基
培養(yǎng)基原料 霍亂弧菌診斷血清 大腸艾希氏菌診斷血清 志賀氏菌屬診斷血清 沙門(mén)氏菌屬診斷血清 標(biāo)準(zhǔn)血清,診斷血清 抗生素藥敏紙片 微生物配套試劑 微生物生化管 管裝培養(yǎng)基 即用型液體培養(yǎng)基 一次性培養(yǎng)基平板 顯色培養(yǎng)基 臨床培養(yǎng)基 菌種保存培養(yǎng)基 四環(huán)素檢定、厭氧亞硫酸鹽還原桿菌檢測(cè)培養(yǎng)基 維生素檢測(cè)培養(yǎng)基 一次性衛(wèi)生用品衛(wèi)生檢測(cè)培養(yǎng)基 罐頭食品商業(yè)無(wú)菌檢測(cè)培養(yǎng)基 飲用水及水源檢測(cè)培養(yǎng)基 藥品、生物制品檢測(cè)培養(yǎng)基 化妝品檢測(cè)培養(yǎng)基 動(dòng)物細(xì)胞培養(yǎng)基 啤酒檢驗(yàn)培養(yǎng)基 軍團(tuán)菌檢測(cè)培養(yǎng)基 支原體檢測(cè)培養(yǎng)基 小腸結(jié)腸炎耶爾森氏菌檢驗(yàn)培養(yǎng)基 彎曲桿菌檢驗(yàn)培養(yǎng)基 產(chǎn)氣莢膜梭菌、肉毒梭菌、厭氧菌檢驗(yàn)培養(yǎng)基 阪崎腸桿菌檢驗(yàn)培養(yǎng)基 溶血性鏈球菌檢測(cè)培養(yǎng)基 李斯特氏菌檢測(cè)培養(yǎng)基 弧菌檢測(cè)培養(yǎng)基 乳酸菌、雙歧桿菌檢測(cè)培養(yǎng)基 酵母、霉菌檢測(cè)培養(yǎng)基 檢測(cè)培養(yǎng)基 沙門(mén)氏菌、志賀氏菌檢驗(yàn)培養(yǎng)基 大腸菌群、糞大腸菌群、大腸桿菌及腸桿菌科檢測(cè)培養(yǎng)基 細(xì)菌總數(shù)檢測(cè),增菌培養(yǎng)基
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血清
細(xì)胞分離試劑
試劑盒

士鋒生物透射電子顯微鏡的原理與演示

時(shí)間:2013-10-25閱讀:832
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解剖、觀(guān)察和分析歷來(lái)是生物學(xué)研究的基本手段。用于細(xì)胞解剖觀(guān)察的主要工具就是顯微鏡,它是我們觀(guān)察細(xì)胞形態(tài)zui常用的工具。但其分辨率的zui小數(shù)值不會(huì)小于0.2mm(紫外光顯微鏡的分辨率也只能達(dá)到0.1mm), 這一數(shù)值是光學(xué)顯微鏡分辨率的極限。限制顯微鏡分辨率的關(guān)鍵因素是光的波長(zhǎng)(光的衍射效應(yīng)),顯微鏡無(wú)論制作得如何精密都無(wú)法突破這一極限, 一般顯微鏡設(shè)計(jì)的zui大放大倍數(shù)為1000~1500倍, 因?yàn)閷?.2mm的質(zhì)點(diǎn)放大到0.2~0.3mm(人肉眼的分辨率)就可以辨認(rèn)清楚。如果分辨率不再提高, 只提高放大倍數(shù)毫無(wú)意義,并不能增加圖像的清晰度。

在光學(xué)顯微鏡下小于0.2mm的一些細(xì)微結(jié)構(gòu),即便是再提高放大倍數(shù)也無(wú)法看清,這些結(jié)構(gòu)稱(chēng)為亞顯微結(jié)構(gòu)(submicroscopic structure)或超微結(jié)構(gòu)(ultramicroscopic structure; ultrastructure)要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。于是,德國(guó)柏林大學(xué)的E. Ruska等便選擇了電子束為光源來(lái)突破光學(xué)顯微鏡分辨率的極限,終于在1938年研制出了世界上*臺(tái)實(shí)用透射電子顯微鏡(transmission electron microscope, TEM)。目前所使用的顯微鏡, 根據(jù)光源不同,可分為光學(xué)顯微鏡(簡(jiǎn)稱(chēng)光鏡)和電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱(chēng)電鏡)兩大類(lèi)。前者以可見(jiàn)光(紫外光顯微鏡以紫外光)為光源, 后者則以電子束為光源。電鏡的問(wèn)世,為細(xì)胞生物學(xué)的研究打開(kāi)了局面。尤其是1953年瑞典學(xué)者成功制造出的超薄切片機(jī)以及隨后相繼出現(xiàn)的各種電子染色技術(shù),使超薄切片技術(shù)得到快速發(fā)展和完善,從而大大推動(dòng)了電鏡在生物學(xué)研究領(lǐng)域中的廣泛使用。

目前,電鏡技術(shù)在細(xì)胞生物學(xué)研究領(lǐng)域中已由細(xì)胞水平發(fā)展到了分子和原子水平。英國(guó)學(xué)者A. Klug博士已將高分辨電鏡技術(shù)應(yīng)用到了生物大分子的結(jié)構(gòu)測(cè)定上,在核酸-蛋白質(zhì)復(fù)合體的晶體結(jié)構(gòu)研究中做出了突出成就,在1982年他也因此獲得了諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)?,F(xiàn)在,電鏡已經(jīng)成為細(xì)胞生物學(xué)、分子生物學(xué)和分子遺傳學(xué)等*的重要研究手段之一,仍然將為細(xì)胞生物學(xué)等生物學(xué)領(lǐng)域的研究做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

實(shí) 驗(yàn) 目 的

1. 通過(guò)對(duì)透射電鏡的結(jié)構(gòu)和成像原理的講解, 了解透射電鏡的工作原理和結(jié)構(gòu)。

2. 通過(guò)對(duì)電鏡演示,了解電鏡的操作方法及其在細(xì)胞生物學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用情況。

實(shí) 驗(yàn) 用 品

透射與掃描電鏡、超薄切片機(jī)、幻燈機(jī)、投影儀、超薄切片示教片,以及各種細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)照片等。

實(shí) 驗(yàn) 原 理

一、電鏡與光鏡的對(duì)比

1. 電鏡出現(xiàn)的必然性

普通光鏡雖然仍是我們觀(guān)察細(xì)胞形態(tài)zui常用的工具,但由于其所用光源為可見(jiàn)光(或紫外光),故其分辨率(Resolution)存在有一個(gè)無(wú)法突破的限制。分辨率是指顯微鏡能將近鄰的兩個(gè)質(zhì)點(diǎn)分辨清楚的能力, 通常是用相鄰兩點(diǎn)間的距離(D)來(lái)表示B其公式如下:

分辨率的數(shù)值越小,顯微鏡的分辨能力就越大,反之越小。由上述公式可以看出,分辨率的數(shù)值與波長(zhǎng)成正比,與鏡口率成反比。因此, 要想得到高分辨率必須要縮短波長(zhǎng)和加大鏡口率,在普通光鏡中我們使用的光源為可見(jiàn)光,波長(zhǎng)為400~700nm (平均值為550nm), 這個(gè)數(shù)值無(wú)法改變, *可改變的數(shù)值為鏡口率(N.A.), N.A.的大小決定于鏡口角的大小和物鏡與標(biāo)本間介質(zhì)折射率(refraction coefficient)的大小。

由此可見(jiàn),鏡口率與n及sin a/2成正比。制作鏡頭所用的光學(xué)玻璃的折射率為1.65~1.78,所用介質(zhì)的折射率越接近玻璃越理想。空氣的折射率為1,水為1.33,香柏油為1.515,a-溴萘為1.66。鏡口角總是小于180°, 所以sin a/2的zui大值必然小于1。對(duì)于干燥物鏡來(lái)說(shuō),介質(zhì)為空氣, 鏡口率一般為0.05~0.95; 而油鏡用香柏油為介質(zhì), 鏡口率可接近1.5, 如果用溴萘則可達(dá)1.66。而就目前看來(lái), 光鏡鏡口率的zui大值也只有1.78。根據(jù)計(jì)算,光鏡分辨率的zui小數(shù)值不會(huì)小于0.2mm(將1.6代入分辨率公式求得), 約等于光波的一半,紫外光顯微鏡的分辨率也只能達(dá)到0.1mm, 這一數(shù)值是光學(xué)分辨率的極限。限制光鏡分辨率的關(guān)鍵因素是光的波長(zhǎng)(光的衍射效應(yīng)), 光鏡無(wú)論制作得如何精密都無(wú)法突破這一極限, 所以一般光鏡設(shè)計(jì)的zui大放大倍數(shù)為1,000~1,500′, 因?yàn)閷?.2mm的質(zhì)點(diǎn)放大到0.2~0.3mm(人肉眼的分辨率)就可以辨認(rèn)清楚。

但在一般想象中, 似乎顯微鏡的放大倍數(shù)越大, 觀(guān)察到的物體應(yīng)該越清楚。然而事實(shí)并不然,因?yàn)樵谶@里涉及到有效放大和無(wú)效放大兩個(gè)概念。有效放大是指本來(lái)用肉眼看不清楚的物體經(jīng)顯微鏡放大成像后可以分辨清楚的放大; 而無(wú)效放大則是指本來(lái)用肉眼能看清楚的物體經(jīng)放大鏡、幻燈機(jī)或投影儀等放大成像后可以分辨得更清楚的放大。此外, 我們所看到的物象是否清楚不僅決定于放大倍數(shù),而且還要受到一些物理因素和透鏡質(zhì)量的影響(例如球差和色差等), 但歸根到底, 影響顯微鏡成像清晰度zui關(guān)鍵的因素是顯微鏡的分辨率。如果分辨率不再提高,只提高放大倍數(shù)毫無(wú)意義, 并不能增加圖像的清晰度。

在光鏡下即便是再提高放大倍數(shù)也無(wú)法看清亞顯微結(jié)構(gòu)(或超微結(jié)構(gòu))。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。電子束的波長(zhǎng)要比可見(jiàn)光和紫外光短得多(表1), 電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。于是,德國(guó)柏林大學(xué)的E.Ruska等便選擇了電子束為光源來(lái)突破光學(xué)顯微鏡分辨率的極限,終于在1938年發(fā)明了世界上*臺(tái)實(shí)用透射電鏡。由此可見(jiàn),電鏡的問(wèn)世是研究細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)的必然需要。

2. 電鏡與光鏡的異同點(diǎn)

電鏡在結(jié)構(gòu)上與光鏡相同,均是由照明光源和透鏡構(gòu)成。所不同的是,(1)電鏡所用照明光源為電子槍發(fā)射的高壓電子束,而光鏡為鹵燈(或汞燈)產(chǎn)生的可見(jiàn)光(或紫外光)。(2)電鏡所用透鏡為電透鏡,聚焦方式為電聚焦; 而光鏡所用透鏡為光學(xué)透鏡, 聚焦方式為機(jī)械聚焦。(3)電鏡所用介質(zhì)必須是真空,而光鏡則為空氣(詳細(xì)區(qū)別見(jiàn)表2)。

電鏡與光鏡的成像原理也基本相同,但由于二者所用照明光源的不同,其成像機(jī)理又有著本質(zhì)的區(qū)別。光鏡的成像過(guò)程是對(duì)可見(jiàn)光的反射與吸收; 而電鏡的成像過(guò)程則是通過(guò)對(duì)電子束的散射。

二、透射電鏡的結(jié)構(gòu)與成像原理

1. 透射電鏡的結(jié)構(gòu)

電鏡的基本構(gòu)造見(jiàn)圖2。在結(jié)構(gòu)上電鏡主要由真空系統(tǒng)、供電及保護(hù)系統(tǒng)、電子照明系統(tǒng)、成象系統(tǒng)和觀(guān)察記錄系統(tǒng)五大部分構(gòu)成,其中, 電子照明系統(tǒng)、成象系統(tǒng)和觀(guān)察記錄系統(tǒng)又被稱(chēng)為透鏡系統(tǒng)或電子光學(xué)系統(tǒng)。

(1) 真空系統(tǒng) 電鏡所用“光”源為高壓電子束,這就要求其介質(zhì)必須處于真空狀態(tài)。一般說(shuō)來(lái),抽真空的意義有三: ①防止燈絲的氧化損傷;②確保電子束在運(yùn)行過(guò)程中不受空氣分子的干擾(因?yàn)殡娮釉谶\(yùn)行過(guò)程中一旦遇到空氣分子便被散射或吸收, 會(huì)嚴(yán)重干擾電子的運(yùn)動(dòng)軌跡); ③去除空氣分子對(duì)樣品的污染。

 

表1 各種光與電子束的波長(zhǎng)比較
名 稱(chēng) 波長(zhǎng) (nm)
可見(jiàn)光 760~390
紫外光 390~13
X-射線(xiàn) 13~0.05
g-射線(xiàn) 1~0.005
電子束  
100V 0.123
10,000V 0.0122
100,000V 0.00387
 
表2 電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡的異同點(diǎn)
  光學(xué)顯微鏡 電子顯微鏡
照 射 光 光 束 電子束
波長(zhǎng)(nm) 長(zhǎng):200~750 短:0.003~0.008
介 質(zhì) 空 氣 真 空
透 鏡 光學(xué)透鏡 電磁透鏡
分 辨 力 0.2~0.1mm 0.1nm
放大倍數(shù) 1,000 1,000,000
聚焦方式 機(jī)械聚焦 電聚焦
反 襯 度 吸收、反射 散射、吸收、衍射、相位

 

真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、真空管道、閥門(mén)、冷阱和儲(chǔ)氣罐等裝置構(gòu)成。機(jī)械泵可從大氣狀態(tài)(1 Pa)抽到1.3′10-5~10-6Pa; 油擴(kuò)散泵可從1.3′10-6Pa抽到1.3′10-7 ~10-9Pa;冷阱中加入液氮后還可以從1.3′10-9Pa抽到1.3′10-10Pa。對(duì)于一般的電鏡,真空度達(dá)到1.3′10-9Pa便可安全使用。但對(duì)于高分辨率的超高壓電鏡,真空度必需達(dá)到1.3′10-12Pa才能安全使用,這就要求除上述抽真空裝置外, 還必須使用離子泵和真空渦流泵等來(lái)大大提高真空度。

(2) 供電及保護(hù)系統(tǒng) 一般的電鏡均擁有兩個(gè)電源, 一個(gè)是高電壓低電流的高壓電源,主要作用是產(chǎn)生高速電子;另一個(gè)是低電壓高電流的透鏡電源,主要作用是控制高速電子束的運(yùn)動(dòng)軌跡。另外, 為了保證電壓和電流的高度穩(wěn)定, 電鏡還配備有高精度的穩(wěn)壓和穩(wěn)流等保護(hù)與控制系統(tǒng); 而且一旦電鏡的某一部分發(fā)生故障后, 電鏡的保護(hù)系統(tǒng)會(huì)讓其自動(dòng)緊急關(guān)機(jī)和斷電, 以免損傷電鏡。

(3) 電子照明系統(tǒng) 由電子槍和兩級(jí)聚光鏡組成, 電子槍可產(chǎn)生高壓電子束,在燈絲前還有一柵板, 柵板有一孔經(jīng)可調(diào)的小孔,用來(lái)控制電子束流的粗細(xì), 以阻擋一些散射電子。極細(xì)的高壓電子束還要經(jīng)過(guò)兩級(jí)聚光鏡進(jìn)行會(huì)聚。*聚光鏡將電子束的直徑縮小20~60倍,第二聚光鏡再將電子束的直徑擴(kuò)大1~2倍,以期得到極細(xì)而均勻的電子束流。

(4) 成象系統(tǒng) 成象系統(tǒng)包括樣品室、成像和放大裝置。樣品室為放置樣品的部位,樣品放置在一金屬樣品托中(可同時(shí)放置兩個(gè)不同的樣品),直接插入到樣品室中。此外,還有一冷阱直接與樣品室相連。冷阱由一液氮罐和一金屬導(dǎo)桿組成,金屬導(dǎo)桿直接插入到樣品室中。液氮罐中的液氮(-196℃)將低溫經(jīng)金屬導(dǎo)桿直接傳遞到樣品室中, 低溫金屬導(dǎo)桿通過(guò)直接吸附樣品室中的少量空氣分子以提高真空度,而且樣品室內(nèi)溫度的降低還可防止電子的熱漂移。

成像和放大部分分別由物鏡、中間鏡I、中間鏡II和投影鏡四級(jí)電磁透鏡組成, 透過(guò)樣品的電子經(jīng)過(guò)物鏡后可被放大50倍,經(jīng)中間鏡I可被放大3倍, 經(jīng)中間鏡II可被放大15倍,經(jīng)投影鏡可被放大200倍,共計(jì)可被放大約500,000倍。

(5) 觀(guān)察記錄系統(tǒng) 由觀(guān)察室、放大鏡和照相裝置構(gòu)成。觀(guān)察室又包括熒光屏和鉛玻璃窗。透過(guò)樣品的電子打到熒光屏上可顯示出反映樣品真實(shí)結(jié)構(gòu)的圖像。由于電子對(duì)人眼有害,故需要通過(guò)一個(gè)鉛玻璃窗來(lái)觀(guān)察,為了觀(guān)察得更加清晰,在觀(guān)察室外還配有一放大鏡。鑒于電子形成的熒光圖像衰減速度很快,所以一旦觀(guān)察到理想的結(jié)構(gòu)圖像就需要盡快利用照相裝置進(jìn)行照相。值得注意的是,電鏡照相與普通照相不同,圖像的反襯度zui低時(shí)才是正聚焦,且底片還必須要經(jīng)過(guò)預(yù)干燥處理。

2. 透鏡電鏡的成像原理

透射電鏡之所以能獲得高分辨率的圖像, 主要是因?yàn)樗鉀Q了兩個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題, 一是用電子槍發(fā)射出了波長(zhǎng)極短的電子波, 二是利用電磁透鏡可控制電子的運(yùn)動(dòng)軌跡, 即可對(duì)電子束進(jìn)行聚焦、放大和成像。故透射電鏡的有效放大倍數(shù)可高達(dá)數(shù)百萬(wàn)倍。

電子槍發(fā)射出的高速電子束在磁場(chǎng)中聚焦,從而被會(huì)聚到待觀(guān)察的樣品上;電子束在通過(guò)樣品時(shí)會(huì)發(fā)生散射,但由于樣品不同部位的質(zhì)量厚度不同, 即物質(zhì)的組成結(jié)構(gòu)不同,電子束發(fā)生散射的程度就不同;透過(guò)樣品后的電子束撞擊到熒光屏上,由電能轉(zhuǎn)變成光能,形成了濃淡不同的圖像。此圖像各處濃淡的不同真實(shí)反映了樣品不同部位的物質(zhì)結(jié)構(gòu),因而可用來(lái)分析和研究樣品的超微結(jié)構(gòu)。

由此可見(jiàn),在透射電鏡中,被觀(guān)察粒子的大小一定要大于電子束的波長(zhǎng)才能被分辨出來(lái), 否則,電子束就會(huì)發(fā)生繞射,無(wú)法看到粒子。這也是電鏡的分辨率由電子束波長(zhǎng)所決定的原因之所在。

另外,用于透射電鏡的標(biāo)本須制成厚度僅有0.05mm的超薄切片,而且由于電子束不能透過(guò)玻璃, 因此這種切片需要用用特制的樣品托,而不能用普通光鏡所用的載玻片。

三、電鏡的分類(lèi)

由于不同種類(lèi)的電鏡在結(jié)構(gòu)和使用方法上或多或少都有一定程度的交叉或重疊, 因此要試圖把所有各種各樣的電鏡進(jìn)行*合理的分類(lèi)是十分困難的, 但就目前來(lái)講, 根據(jù)電子束和樣品之間作用方式的不同對(duì)電鏡進(jìn)行分類(lèi)是相對(duì)比較合理的一種方法, 總的看來(lái),電子束和樣品之間的作用方式有如下四種: 1) 物體透射電子;2) 物體發(fā)射電子;3) 物體反射電子;4)物體吸收電子。常用的電鏡可分為透射電鏡和掃描電鏡兩大類(lèi)。透射電鏡便屬于物體透射電子的一種類(lèi)型,應(yīng)用非常廣泛,既可以用來(lái)分析生物組織的內(nèi)部結(jié)構(gòu),又可以用來(lái)研究金屬內(nèi)部的晶體結(jié)構(gòu); 是當(dāng)今世界上所用電鏡中數(shù)量zui多的一類(lèi), 約占現(xiàn)有電鏡總數(shù)的90%左右, 掃描電鏡屬于物體發(fā)射電子這一類(lèi), 可以用來(lái)觀(guān)察復(fù)雜的表面圖像, 其焦深和分辨率不但比光鏡高出很多,而且還能顯示出樣品表面的立體形象。其它兩種作用方式的電鏡由于與我們細(xì)胞生物學(xué)研究關(guān)系不大, 在此就不再一一向大家介紹了。

四、電鏡的操作演示與示教

1. 電鏡操作的演示

學(xué)生參觀(guān)分兩組交叉進(jìn)行,一組參觀(guān)透射電鏡,一組參觀(guān)掃描電鏡,然后再交換參觀(guān)內(nèi)容。

2. 電鏡照片的展示

挑選一批具有代表性的動(dòng)植物細(xì)胞不同超微結(jié)構(gòu)的電鏡照片,供同學(xué)們觀(guān)察和學(xué)習(xí),以了解各種亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)的超微結(jié)構(gòu)特征。

作 業(yè)

1. 通過(guò)本實(shí)驗(yàn)的學(xué)習(xí),比較光鏡與電鏡工作原理的區(qū)別。

2. 區(qū)分細(xì)胞的超微結(jié)構(gòu)和顯微結(jié)構(gòu), 寫(xiě)出各種示教細(xì)胞器的名稱(chēng)及其結(jié)構(gòu)特征。

思 考 題

1. 通過(guò)本實(shí)驗(yàn)的學(xué)習(xí),比較光鏡與電鏡的主要異同點(diǎn)。

答: 電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡的主要異同點(diǎn)

2. 總結(jié)掃描電鏡與透射電鏡的主要異同點(diǎn)。

答:常用的電鏡可分為透射電鏡和掃描電鏡兩大類(lèi)。透射電鏡便屬于物體透射電子的一種類(lèi)型,應(yīng)用非常廣泛,既可以用來(lái)分析生物組織的內(nèi)部結(jié)構(gòu),又可以用來(lái)研究金屬內(nèi)部的晶體結(jié)構(gòu); 是當(dāng)今世界上所用電鏡中數(shù)量zui多的一類(lèi), 約占現(xiàn)有電鏡總數(shù)的90%左右, 掃描電鏡屬于物體發(fā)射電子這一類(lèi), 可以用來(lái)觀(guān)察復(fù)雜的表面圖像, 其焦深和分辨率不但比光鏡高出很多,而且還能顯示出樣品表面的立體形象。

[ 附 ] 掃描電鏡的結(jié)構(gòu)與成像原理

在Oatley等學(xué)者的努力下,于1965年研制成功了世界上*臺(tái)實(shí)用掃描電鏡(scanning electron microscope, SEM)商品。其功能是用來(lái)觀(guān)察標(biāo)本的表面形態(tài)結(jié)構(gòu)。它將標(biāo)本表面上發(fā)射出的次級(jí)電子,由帶樣電荷的柵極收集后, 即向電子顯象管發(fā)送信號(hào),在熒光屏上顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本表面的真實(shí)結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級(jí)電子,標(biāo)本要進(jìn)行特殊處理。標(biāo)本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒, 重金屬在電子束的轟擊下會(huì)發(fā)出次級(jí)電子信號(hào), 可用于電子成像。

1. 掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)

掃描電鏡在結(jié)構(gòu)上主要是由電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈、樣品室、信號(hào)的收集、處理及顯示系統(tǒng),以及真空系統(tǒng)和供電保護(hù)系統(tǒng)等部分組成。其中, 電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈又被稱(chēng)為電子光學(xué)系統(tǒng)。

其電子槍所發(fā)射電子的波長(zhǎng)一般為1~10nm,使用的電壓范圍為1~10KV。掃描線(xiàn)圈為掃描電鏡所*的結(jié)構(gòu),可作光柵狀掃描,以便在熒光屏上顯示出掃描圖像。掃描電鏡的樣品室較大,樣品有的樣品托,可在樣品室內(nèi)進(jìn)行各不同方向的平移和傾轉(zhuǎn);另外,在樣品室內(nèi)還裝配有檢測(cè)部件。信號(hào)的收集、處理及顯示系統(tǒng)包括次級(jí)電子探測(cè)器、光電倍增管和顯象管。次級(jí)電子探測(cè)器又由閃爍體和光導(dǎo)管構(gòu)成,主要作用是收集由標(biāo)本表面發(fā)射出的次級(jí)電子,并將其轉(zhuǎn)變成光子;光電倍增管可將光子信號(hào)放大后,又將其轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào);而顯象管便便可將所接受到的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)變成為亮度不同的圖像。

2. 掃描電鏡的成像原理

電子槍發(fā)射出的電子束,經(jīng)電磁透鏡會(huì)聚成極細(xì)的電子束,并進(jìn)而聚焦在待測(cè)樣品表面;由于樣品各不同部位的表面形貌不同,入射電子束與樣品表面所噴涂的重金屬原子相互作用后所產(chǎn)生的次級(jí)電子信號(hào)也不同; 此次級(jí)電子信號(hào)為探測(cè)器接受后, 被轉(zhuǎn)變成光子,傳遞給光電倍增管進(jìn)行放大和轉(zhuǎn)換;轉(zhuǎn)換成的電壓信號(hào)經(jīng)掃描線(xiàn)圈掃描后顯示在顯象管的熒光屏上。

由于掃描線(xiàn)圈在樣品上作掃描光柵狀的逐點(diǎn)掃描,再加上顯象管的偏轉(zhuǎn)線(xiàn)圈電流與掃描線(xiàn)圈電流高度同步,因此,顯象管熒光屏上的任何一點(diǎn)的亮度與樣品表面上相應(yīng)點(diǎn)所發(fā)出的次級(jí)電子數(shù)均是一一對(duì)應(yīng)的,因此,顯示在熒光屏上的圖像就是樣品表面形貌的真實(shí)寫(xiě)照。

綜上所述,掃描電鏡在結(jié)構(gòu)和工作原理上均不同于透射電鏡。如(1)掃描電鏡所用樣品的制備方法簡(jiǎn)便, 不需經(jīng)過(guò)超薄切片,經(jīng)固定、干燥和噴金后即可;(2)掃描電鏡采用的是次級(jí)電子成像; (3)掃描電鏡所觀(guān)察到圖像景深長(zhǎng), 圖像富有立體感, 但只能反映出樣品的表面形貌; (4)圖像的放大倍率在很大范圍內(nèi)是連續(xù)可變的(101~105×);(5)樣品的輻射損傷及污染程度小等。但與透射電鏡相比,掃描電鏡又存在有其不可逾越的局限性,如(1)分辨率還不夠高; (2)無(wú)法顯示樣品內(nèi)部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)等。為此,近年來(lái)出現(xiàn)了一種新的電鏡技術(shù)-冰凍蝕刻技術(shù)(freeze etching),利用“復(fù)膜(replica)”在透射電鏡下進(jìn)行觀(guān)察, 既可觀(guān)察到樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu), 又可觀(guān)察到富有立體感的圖像, 還提高了分辨率。

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