SECS/GEM通訊無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱概述

SECS/GEM通訊無(wú)塵烘箱,無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

特點(diǎn)

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

Ø  溫度均勻度：±2℃;    

Ø  溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；        

Ø  溫控精度：±0.1℃;

Ø  進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

Ø  排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;