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增粘劑烤箱，HMDS烘箱的重要性：

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

增粘劑烤箱，HMDS烘箱的主要技術(shù)性能：


1、設(shè)備名稱	增粘劑烤箱，HMDS烘箱
2、設(shè)備型號(hào)	JS-HMDS90
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
3.1 工作室尺寸	450×450×450（mm），可自定尺寸
3.2 材質(zhì)	外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼
3.3 溫度范圍	RT+10-250℃
3.4 溫度分辨率	0.1℃
3.5 溫度波動(dòng)度	±0.5℃
3.6 真空度	≤133pa（1torr）
3.7 潔凈度	class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
3.8電源及總功率	AC 220V±10% / 50HZ 總功率約2.0KW
3.9 控制儀表	人機(jī)界面
3.10擱板層數(shù)	2層
3.11 HMDS加液	自動(dòng)加液（可選擇）
3.11真空泵	旋片式油泵（進(jìn)口無(wú)油干泵）
3.12 保護(hù)裝置	漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)