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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。
HMDS烘箱圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) HMDS涂膠機(jī)使用HMDS(六甲基二硅氮烷)對(duì)晶圓表面進(jìn)行快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效的涂布,以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統(tǒng)還支持圖像反...
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性
HMDS烘箱,太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱適用行業(yè):MEMS、太陽(yáng)能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO...
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報(bào)價(jià)它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附"處理。在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠...
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等...
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開(kāi))延長(zhǎng)了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件??蛇x的集成入口保護(hù)閥...
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤,再進(jìn)行H...
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅...
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了...
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