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當(dāng)前位置:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>半導(dǎo)體烘烤設(shè)備
氮?dú)鉂崈艉嫦涔饪棠z無塵烘箱 百級烘箱適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.
堅(jiān)膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面,并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。
六箱體氮?dú)夂嫦?,多倉式潔凈烘箱選配功能:輔助降溫:水冷、風(fēng)冷降溫操作界面:人機(jī)界面+PLC,工控電腦錄入信息:掃碼槍監(jiān)測功能:氧含量分析儀等
精密高溫?zé)岚?,掩膜版加熱臺(tái)采用高性能電熱管加熱,升溫快,熱效率高,使用壽命更長,維護(hù)簡單;
潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要...
后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會(huì)使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導(dǎo)體,集成電路。
聚酰亞胺PI無氧烘箱,氮?dú)鈦啺坊嫦鋺?yīng)用于精密電子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝...
氮?dú)夂嫦?,掩膜板烘箱在掩膜版的生產(chǎn)制造過程中,掩膜版基板在光阻涂布后會(huì)有一個(gè)烘烤的環(huán)節(jié),又稱為前烘。
水冷無氧化烘箱,高溫?zé)o氧烘箱升溫方式:程序線性升溫降溫方式:風(fēng)冷+水冷輔助降溫氧含量:氧含量≤20ppm
真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,
前烘氮?dú)夂嫦?,硬烘潔凈烘箱?yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性
外延片烘箱,氮?dú)鉂崈艉嫦溲悠瑢⑺鐾庋悠湃牒嫦渲?在120℃~140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10~30分鐘
墨點(diǎn)烘箱,墨點(diǎn)氮?dú)夂嫦涫前雽?dǎo)體行業(yè),芯片加工工藝流程中打墨點(diǎn)工藝后,將硅片放入烘箱進(jìn)行墨點(diǎn)烘干專用設(shè)備。
堅(jiān)膜烘箱,氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面...
晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦渚A退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度...
無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式,系統(tǒng)并自動(dòng)將制程寫入溫控器,達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載,避免...
充氮烘箱,充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
百級無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅(jiān)膜、裝片機(jī)后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。
有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等
充氮真空烘箱,快速降溫真空烤箱用于鍵合材料的真空預(yù)處理 、BCB固化、ITO膜退火,PI膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)。
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