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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品


霍爾 遷移率

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參  考  價:3000000 - 8000000 /臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產(chǎn)品型號

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商

  • 所在地

    西安市

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更新時間:2024-08-13 11:44:44瀏覽次數(shù):204次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 類型 無損傷

設(shè)備主要利用微波測試原理,非接觸測試半導(dǎo)體材料,石墨烯,透明導(dǎo)電膜,碳納米管,金屬等材料的電學(xué)特性??蓪崿F(xiàn)單點測試,亦可以實現(xiàn)面掃描的測試功能,具有快速,無損,準確等優(yōu)勢,可用于材料研發(fā)及工藝的監(jiān)測及質(zhì)量控制。

詳細介紹

非接觸Hall測試是一種利用微波原理來測試外延片載流子遷移率的測試方法,該方法在測試時利用微波源發(fā)射微波通過波導(dǎo)將微波傳輸至測試樣品表面,在磁場作用下具有不同遷移率的樣品對微波的反射效果不同,通過探測反射的微波功率再將其轉(zhuǎn)化為對應(yīng)的電導(dǎo)張量,從而建立模型可以計算出HEMT結(jié)構(gòu)的載流子濃度和遷移率。具體是設(shè)備通過微波發(fā)生器產(chǎn)生10 GHz的微波,入射樣品表面的TE10模的微波,會從測試樣品表面處產(chǎn)生兩種模式的反射波,一種是和入射波相同模式和極化的TE10反射波,通過探測反射回來的TE10波的功率,通過計算可得測試樣品的方塊電阻;另外一種反射波是TE11模的波,它是TE10波到達樣品表面時,由于樣品在磁場作用下的霍爾效應(yīng)將TE10模旋轉(zhuǎn)90°以TE11模的波返回,通過探測此TE11模微波的功率,通過計算可得出測試樣品的載流子遷移率。

該系統(tǒng)使用一個工作在10 GHz的低功率微波源,耦合到一個波導(dǎo)網(wǎng)絡(luò),以便將功率引導(dǎo)到被測樣品的表面。波導(dǎo)網(wǎng)絡(luò)的設(shè)計是這樣允許檢測和測量TE10和TE11的傳播模式。

正常的TE10入射波用于產(chǎn)生從被測樣品中返回的兩種反射波。第one波,即反射功率,從樣本中返回的反射功率,與入射波處于相同的模式或偏振狀態(tài)。該反射波的功率被檢測、測量,并根據(jù)波導(dǎo)系統(tǒng)的總阻抗來計算樣品片電阻

樣品返回的第二波是由樣品在磁場影響下的“霍爾效應(yīng)"引起的TE11模式。正常的TE10入射波通過這種效應(yīng)旋轉(zhuǎn)90度,這個功率,即霍爾功率,由系統(tǒng)檢測和測量,并用于計算遷移率和載流板密度的剩余輸運特性,HALL測試示意圖如圖2-1所示。


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