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行業(yè)產(chǎn)品

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冉昆真空科技(上海)股份有限公司


RMDJL系列單晶爐機(jī)組

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-12-18 10:24:53瀏覽次數(shù):83次

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產(chǎn)品簡介

RMDJL系列單晶爐機(jī)組

詳細(xì)介紹

    單晶爐應(yīng)用概述

    單晶爐是主要用于生產(chǎn)無錯位單晶的設(shè)備。 設(shè)備主要分成兩個部分:

    1.在惰性氣體填充環(huán)境內(nèi),多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進(jìn)行融化。

    2.設(shè)備內(nèi)部安裝提拉頭,將對融化的多晶材料進(jìn)行直拉并最終生產(chǎn)出產(chǎn)品。

    單晶爐生產(chǎn)過程需輔助配套真空機(jī)組,針對單晶爐生產(chǎn)工藝需求,真空機(jī)組需求進(jìn)行專門配置和定制化設(shè)計以完善符合單晶爐應(yīng)用工藝。

     

    ReM 定制化單晶爐真空機(jī)組

    冉昆真空科技提供的單晶爐設(shè)備配套真空機(jī)組以高效羅茨螺桿真空機(jī)組作為主體,機(jī)組后端配置消音器可有效降低設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的噪音。 機(jī)組前端配置過濾器,該裝置可以選配。 過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進(jìn)泵的幾率。 客戶可根據(jù)工況實際情況進(jìn)行選配。

     

    主體設(shè)備常規(guī)配置:

    序號

    泵種

    設(shè)備型號

    電機(jī)功率,KW

    電機(jī)形式

    1

    羅茨真空泵

    ZJ-150D

    4

    水冷封閉電機(jī)

    2

    干式螺桿真空泵

    RMD-200D

    7.5

    水冷封閉電機(jī)

    如上機(jī)組型號: RMDJL150-T

     

    結(jié)合單晶爐運(yùn)行特點,機(jī)組配置針對電氣控制、保護(hù)裝置。 機(jī)組可有效對運(yùn)行溫度水平進(jìn)行監(jiān)控。。當(dāng)出現(xiàn)高溫情況,將分別進(jìn)行報警和停機(jī) 另,機(jī)組配置定制化電控箱,可有效進(jìn)行機(jī)組控制等操作。 同時機(jī)組真空度、氮?dú)鈿庠唇钥赏ㄟ^調(diào)節(jié)閥、壓力表分別進(jìn)行控制和監(jiān)控。另,選配方面針對機(jī)組前端過濾器,機(jī)組可通過進(jìn)行壓差檢測,并實時對濾芯堵塞狀態(tài)進(jìn)行提示和報警。

     

    RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機(jī)組性能參數(shù)列表:

    機(jī)

    單位

    RMDJL150-T

     

    抽 氣 速 率

    L/S
    (50Hz/60Hz)

    175/210

    m3/h
    (50Hz/60Hz)

    630/756

     

    極 限 真 空

    Pa
    (50Hz/60Hz)

    ≤0.2/0.1

    Torr
    (50Hz/60Hz)

    ≤1.5X10-3/≤7.5X10-4

     

    水冷密封電機(jī)

    頻率

    Hz

    50/60

    電壓

    V

    380

    功率

    kW

    3+4.5

     

    轉(zhuǎn)速

    羅茨真空泵 ZJ-150D

    rpm
    (50Hz/60Hz)

     

    2900/3480

    干式螺桿真空泵 RMD-200D

    rpm

    2900

     

    氮?dú)?/span>

    壓力

    MPa

    0.05-0.1

    流量

    l/min

    6-20

     

     

    冷卻水

    壓力

    MPa

    0.2-0.4

    壓力差

    MPa

    0.1

    溫度

    10-30

    流量

    l/min

    3-5

    進(jìn)氣口徑

    mm

    DN100

    排氣口徑

    mm

    DN40

    重 量

    Kq

    600

    噪 音

    dB(A)

    72

    外形尺寸(長×寬×高)

    mm

    1000×660 ×1050

     

    RMDJL150-T 型螺桿真空機(jī)組供貨范圍

    序號

    設(shè)備名稱

    數(shù)量

    單位

    備注

    機(jī)械部分

     

    1

    ZJ-150D羅茨真空泵

    1

     

    2

    RMD-200D 螺桿真空泵

    1

     

    3

    減震墊

    4

     

    4

    機(jī)組底座

    1

    配置萬向輪

    5

    消音器

    1

     

    6

    副水箱

    1

     

    7

    過濾器

    1

    可選配置

    電氣閥門部分

    8

    水冷封閉電機(jī)

    2

     

    9

    水溫檢測器

    1

     

    10

    氮?dú)鈮毫Ρ?/span>

    1

     

    11

    壓力調(diào)節(jié)閥

    1

     

    12

    電磁壓差閥

    1

    可選配置

    13

    電控箱

    1

    可選配置

    管路部分

    14

    電源、氣源、水路接口

    1

     

    15

    波紋管(DN40)

    1

     

    16

    波紋管(DN100)

    1

    可選配置

    17

    過濾器電磁壓差閥

    1

    可選配置

     

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