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U1510掃描電子顯微鏡

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U1510掃描電子顯微鏡一、用途SU1510掃描電子顯微鏡主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡

詳細(xì)介紹

SU1510掃描電子顯微鏡主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

特點(diǎn)
　　

1. 儀器主體比過(guò)去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。

2. 標(biāo)配低真空功能，可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。

3. 可載入＊大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行元素分析。

4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。

5. 分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無(wú)污染。

項(xiàng)目	內(nèi)容
二次電子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射電子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000X
加速電圧	0.3～30 kV
樣品臺(tái)	X 0～80 mm
	Y 0～40 mm；
	Z 5～50 mm；
	T -20°～ 90°；
	R 360°
樣品臺(tái)控制	手動(dòng)（可選：2軸馬達(dá)）
＊大載入樣品尺寸	直徑：153 mm
＊大觀察范圍	直徑：126 mm（XYR并用）
＊大樣品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范圍	6-270Pa(從菜單設(shè)定)
燈絲	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光闌	4孔可變光闌
槍偏壓	固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓
檢測(cè)器	二次電子檢測(cè)器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系統(tǒng)	分子泵1臺(tái)，機(jī)械泵1臺(tái)
安全措施	停電，漏電，自動(dòng)保護(hù)