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單片晶圓濕式工藝設(shè)備

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2025-02-03 10:45:43瀏覽次數(shù)：92次

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產(chǎn)品簡介

采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2-6晶圓、4-8晶圓、8-12晶圓

詳細介紹

采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。

  • 工藝過程可編程，適應(yīng)于晶圓最終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝

  • 可對正面及背面同時進行清洗或腐蝕

  • 采用雙手指機械臂傳送晶圓

  • 采用雙面無基礎(chǔ)清洗載物臺

  • 配備雙面PVA刷洗功能

  • 配備藥液控溫單元

  • 配備自動配藥單元

  • 可選配兆聲單元

  • 可選配自動滅火單元

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