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TI-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)

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成都天一國(guó)泰真空設(shè)備有限公司

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設(shè)備型號(hào):GT-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)腔體尺寸:φ1320mmxH1500mm恢復(fù)真空:1x10-3Pa

詳細(xì)介紹

設(shè)備型號(hào):GT-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)
腔體尺寸:φ1320mmxH1500mm	恢復(fù)真空:1x10^-3Pa,小于20分鐘
工件盤(pán):φ1200	加熱溫度:下烘烤300°C
晶控:XTC-3+六探頭	所需電力:三相、380V、50HZ
電子槍:單槍	設(shè)備進(jìn)水壓:0.3~0.4MPa
真空系統(tǒng):羅茨泵+雙級(jí)旋片泵+擴(kuò)散泵	所需氣壓:0.5~0.7MPa
極限真空:7x10^-5Pa	設(shè)備重量:約6T
真空鍍膜設(shè)備的具體配置可根據(jù)客戶(hù)的鍍膜工藝要求進(jìn)行量身設(shè)計(jì)及制作