程控厭氧潔凈烘箱是一臺針對集成電路封裝生產(chǎn)線芯片上芯固化時存在的污染、發(fā)黃、氧化、分層等問題而研制的烘箱，通過強制排風，帶走烘烤揮發(fā)物，將各種動作、邏輯關系、相關保護、參數(shù)設定、數(shù)據(jù)通信程序化，操作員只是簡單的操作即可完成整個工藝段的烘烤，提高了烘烤工藝的可控性，增加了烘烤溫度曲線對應產(chǎn)品序號的可追溯性

詳細介紹

程控厭氧潔凈烘箱規(guī)格書

項目		HTM-2352	HTM-2381
工作腔體	工作腔數(shù)量	1個	2個
	工作腔尺寸（寬×深×高，mm）	690×680×930	660×660×550
	總工作層數(shù)	4層	3+3=6層
	每層放置料盒數(shù)量	8個（料盒尺寸280×110×125）	6個（料盒尺寸280×110×125）
	合計放置料盒數(shù)量	32個	36個
溫度特性	空載平均升溫速度	7.25℃/min	8℃/min
	空載平均降溫速度（200℃-80℃）	2.5℃/min	3.7℃/min
	溫度均勻性（空載恒溫20分鐘）	±2℃
	溫度均勻性（滿載恒溫20分鐘）	±5℃
	保溫及密封性能（空載200℃自然降溫到50℃）	＞18H
	保溫及密封性能（200℃恒溫30分鐘時，外表溫度）	＜（室溫+25）℃
工藝特性	固化工藝	直排風烘烤+循環(huán)風烘烤
	排風方式	主動排風
	排風量調(diào)節(jié)開關間歇	5S:XS，（X可編程設置）
	降溫方式	水冷/風冷
	氮氣流量	80-120L/min
	氧氣含量（通氮15min后）	＜5000PPM
	氧含量分析儀	選配
安全特性	抗氧化安全	氮氣流量自動監(jiān)控（選配氧氣含量自動監(jiān)控）
	抗污染安全	主動排風、電機故障監(jiān)控、排風閥狀態(tài)監(jiān)控
	超溫保護1	5點溫度傳感器檢測保護
	超溫保護2	數(shù)字超溫保護模組
	超溫保護3	機械式超溫保護模組
	安全門鎖	自動安全門鎖
	斷電保護	配備UPS，如果自動運行過程發(fā)生斷電，設備保持斷電前數(shù)據(jù)，強制通氮氣保護，并報警。
信息化配置	烘烤參數(shù)	多個參數(shù)預先設定、存儲，5段式工藝參數(shù)
	烘烤參數(shù)調(diào)用	條碼掃描調(diào)用/人工選取調(diào)用
	烘箱運行數(shù)據(jù)	實時顯示
	溫度時間曲線記錄	自動記錄、長期保存
	產(chǎn)品烘烤信息查詢	可查詢，可輸出
	操作、報警日志記錄	自動記錄、長期保存
	部分操作界面
	烘箱設備管理平臺聯(lián)網(wǎng)	選配
	與MES系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng)	選配
設備動力配置	外形尺寸（長×寬×高，mm）	1430×1050×1826	1360×1100×2000
	開門尺寸（長×寬，mm）	1430X2000	1360X1970
	空載重量	520KG	550KG
	電源	AC380V、28A、18kw、50Hz	AC380V、32A、21kw、50Hz
	冷卻循環(huán)水	5L/min、2bar、18℃、1/2內(nèi)螺紋接口
	氮氣流量	150L/min、2bar、99.99%、φ10mm快插
	壓縮空氣	5L/min、5bar、φ10mm快插
	排風	5m/s、1360L/min、φ76mm（可選后部或頂部排風）
	熱量回收效率	＞40%	/
	固態(tài)揮發(fā)物冷凝回收裝置	配置T型冷凝回收裝置
工藝及材質(zhì)	控制系統(tǒng)	工業(yè)控制計算機程控潔凈烘箱軟件V2.18	工業(yè)控制計算機程控潔凈烘箱軟件VⅡ2.18
	烘箱內(nèi)膽材料	鏡面304不銹鋼
	烘箱外殼材料及工藝	1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接
	烘箱外殼處理工藝	高溫噴塑處理
	烘箱保溫層材料	高密度壓縮成型片狀巖棉
	設備外觀