太赫茲（THz）光源波長(zhǎng)較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對(duì)材料科學(xué)研究，尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究（例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成：源極，漏極，柵極）的實(shí)驗(yàn)。太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（THz-NeaSNOM）的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。

詳細(xì)介紹

太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 THz-NeaSNOM

---30nm光學(xué)信號(hào)空間分辨率

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

太赫茲（THz）光源波長(zhǎng)較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對(duì)材料科學(xué)研究，尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究（例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成：源極，漏極，柵極）的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。

德國(guó)neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上，已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

THz-NeaSNOM主要技術(shù)參數(shù)與特點(diǎn)：

+優(yōu)于30nm的空間分辨率

+常用THz光范圍：0.1-3THz

+寬波段拋面鏡

+THz研究可使用商業(yè)化的AFM探針

+THz-TDS使用飛秒激光光源

+簡(jiǎn)單易用，穩(wěn)定性高

應(yīng)用案例：

THz-NeaSNOM 30nm空間分辨率

THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（下圖左）對(duì)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的測(cè)量結(jié)果圖。

該結(jié)果表明硅襯底（上圖左，灰色）上的SiO（一氧化硅）的尺寸大約在1.5×1 平方微米。通過分析左側(cè)的高度數(shù)據(jù)，可以知道該一氧化硅結(jié)構(gòu)僅僅只有大約22納米厚度。雖然該層狀結(jié)構(gòu)非常薄，但THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（下圖左）在測(cè)量高度的同時(shí)仍然能夠記錄該結(jié)構(gòu)與襯底的近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)的明顯不同襯度的結(jié)果。該THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡不僅在測(cè)量非常薄樣品的時(shí) 候靈敏度非常高，而且通過分析近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)數(shù)據(jù)（下圖右）也證實(shí)了它超高的空間分辨率（~25-30nm）。