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MEMC2300系列質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-10-12 12:28:54瀏覽次數(shù)：121次

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產(chǎn)品簡介

1. 適用范圍：氧氣O2 / 氮氣N2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG等氣體。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-80°C2. 技術(shù)特點：新一代微機電（MEMS）技術(shù)，自適應(yīng)信號處理與控制技術(shù)，數(shù)值仿真技術(shù)設(shè)計。具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)快的特點。3. 主要功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，流速控制，時間控制，總流量控制。滿足就地、遠程監(jiān)測與控制需求。安裝......

詳細介紹

MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精準測量和控制氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量。通過就地設(shè)定或遠程控制可使氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量按照工藝過程要求自動穩(wěn)定在設(shè)定值上。質(zhì)量流量基本不受壓力和溫度的影響, 具有精度高、重復(fù)性好的特點。質(zhì)量流量控制器按照國家標準要求制造, 具有良好的兼容性和互換性。同時, MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器具備數(shù)據(jù)處理、記錄、顯示等相關(guān)功能, 還可實現(xiàn)NB-IOT物聯(lián)遠傳功能。該控制器安裝維護方便，包括底板安裝和DIN導(dǎo)軌安裝兩種安裝方式。

MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉等光電半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量氣象色譜儀等試驗室設(shè)備轡頭。且可用于石油化工、冶金、焊接、家電制造、制藥等行業(yè)過程控制。

MEMC2300系列智能質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量計、比例電磁閥、信號處理與控制模塊三個部分構(gòu)成。

質(zhì)量流量計由本體、傳感器、信號處理與顯示模塊構(gòu)成。

傳感器采用CMOS半導(dǎo)體工藝制造而成的MEMS微機電芯片。流量測量工作原理采用熱擴散原理, 芯片設(shè)加熱器, 加熱器的上下游兩側(cè)分別配置熱電堆, 熱電堆設(shè)測溫元件。加熱器和熱電堆陣列的底部設(shè)有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量變化。加熱元件導(dǎo)入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成相應(yīng)的溫度場。介質(zhì)流動使局部溫度場重新分布, 因為溫度場的變化與流體質(zhì)量流量流速呈線性關(guān)系, 所以通過精確測量溫度場可反算出流體質(zhì)量流速。傳感器應(yīng)用熱擴散原理, 直接測量質(zhì)量流量, 基本無需壓力、溫度補償，且將熱擴散應(yīng)用至微米尺度, 因此采用該傳感器制造的質(zhì)量流量計具有精度高、量程寬、靈敏、計量精準的特點。

流量計本體用于構(gòu)造安全、準確的測量通道。而信號處理與顯示單元用于處理傳感器信號并將信號轉(zhuǎn)換成用戶需要的監(jiān)測數(shù)據(jù)顯示在LCD屏上。

比例電磁閥是電磁驅(qū)動的控制閥與流量計結(jié)合形成閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定、精確地控制氣體流量。比例電磁閥是交、直流型供電的常閉閥, 磁滯低、重復(fù)性高、反應(yīng)靈敏, 確保流量控制器良好的動態(tài)特性，且具有寬泛的Cv流量系數(shù)范圍。采用彈性閥座密封件, 閥門可保證氣密性關(guān)斷截止?？商峁┱w式卡套接頭用于安裝閥組。

信號處理與控制模塊與比例電磁閥、質(zhì)量流量計形成閉環(huán)質(zhì)量流量控制系統(tǒng)。該模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高嵌入系統(tǒng)設(shè)計。集成了*的自適應(yīng)控制算法, 可以有效抑制測量數(shù)據(jù)隨機誤差，因此系統(tǒng)具有響應(yīng)迅速、精度高、穩(wěn)定性好的特點。

流量設(shè)定	在閥控狀態(tài)下，設(shè)定范圍為0~ 110% F.S.
流量讀取	讀取設(shè)定瞬時流量、實時瞬時流量、流量總量。
吹掃狀態(tài)	安裝氣路過程中清除管道內(nèi)的異物，確保管路的清潔。(注：不支持長時間使用)
截止關(guān)閉	實現(xiàn)管路關(guān)斷功能。(注：不支持長時間使用)
總量控制	控制介質(zhì)總量達到設(shè)定值時自動關(guān)閉。
定時控制	在設(shè)定時間范圍內(nèi)控制流量。
實時記錄	記錄氣體流量，支持U盤存取。
實時曲線	瞬時流量的趨勢曲線。
介質(zhì)選擇	實現(xiàn)一個MFC控制多種氣體。
分段流量控制	氣體流量曲線控制
注：流量設(shè)定與流量讀取基本功能可在質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)，其余為高級功能，需選配外接觸摸屏控制器實現(xiàn)。