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勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2023-10-08 10:38:48瀏覽次數(shù)：151次

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消耗少量光刻膠 多種選配功能 適用多種材料 占地空間少 無(wú)需要更換零件 自動(dòng)晶圓尺寸識(shí)別

詳細(xì)介紹

消耗少量光刻膠
多種選配功能
適用多種材料
占地空間少
無(wú)需要更換零件
自動(dòng)晶圓尺寸識(shí)別

抗蝕劑、聚酰亞胺和摻雜劑的全自動(dòng) C 到 C 應(yīng)用 / 烘烤
與晶圓尺寸相匹配的緊湊型外殼

無(wú)需更改設(shè)置即可處理多種尺寸的晶圓。

從低粘度到高粘度的豐富支持。

支持200μm以上翹曲的輸送系統(tǒng)

COO減少和定制支持通過(guò)各種選項(xiàng)菜單實(shí)現(xiàn)。

高規(guī)格

高規(guī)格處理量：1000張/天以上
設(shè)備尺寸：大型
機(jī)器人：2臺(tái)或自走式


標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)處理量：500張/天以上

設(shè)備尺寸：中型
機(jī)器人：1臺(tái)


研發(fā)

研發(fā)處理量：100張/天或更多

設(shè)備尺寸：小型
機(jī)器人：無(wú)


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