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武漢月憶神湖科技有限公司


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WS-650Mz-23NPPBLaurell 650勻膠機(jī)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:賽先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-09-24 11:01:20瀏覽次數(shù):257次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

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所在地區(qū):

聯(lián)系人:賽先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Laurell 650勻膠機(jī)WS-650Mz-23N具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可保證膠厚度的一 致性和均勻性,具有美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證;

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌適用基片尺寸150毫米直徑圓片/5英寸方片
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍100~12000RPM旋轉(zhuǎn)加速度12000RPM/S
轉(zhuǎn)速精度小于0.2rpm外殼材質(zhì)NPP(天然聚丙烯)

一、Laurell 650勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
采用NPP外殼材質(zhì),PLC控制,速度可調(diào)節(jié),在啟動(dòng)之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn),步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);

二、Laurell 650勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB技術(shù)參數(shù):
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑圓片,方片125x125mm;
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:100-12,000rpm,
4、旋涂加速度:1-12000rpm/sec(空載);
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差<± 1 %;
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;
7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
9、高 精 度 數(shù) 碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證;
12、配套真空泵系統(tǒng):無(wú) 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;

637901265330062967273.jpg

























 

關(guān)鍵詞:勻膠機(jī) 芯片 真空泵
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