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PMF干式螺桿真空泵

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PMF干式螺桿真空泵系列介紹：半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要

詳細(xì)介紹

PMF半導(dǎo)體真空泵

PMF干式螺桿真空泵系列介紹：

半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動(dòng)，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國(guó)近年來(lái)也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢(shì)，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。

特點(diǎn)：

較低的電能消耗。節(jié)能模式的應(yīng)用降低整體功耗。體積小，重量輕。節(jié)省了安裝空間半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動(dòng)，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國(guó)近年來(lái)也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢(shì)，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。

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