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更新時(shí)間:2023-08-14 08:45:52瀏覽次數(shù):337次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線PMF干式螺桿真空泵系列介紹:半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要
PMF干式螺桿真空泵系列介紹:
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動(dòng),干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn),受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步,干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加,性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前,發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵,我國(guó)近年來(lái)也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢(shì),國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
特點(diǎn):
較低的電能消耗。 節(jié)能模式的應(yīng)用降低整體功耗。 體積小,重量輕。 節(jié)省了安裝空間 半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動(dòng),干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn),受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步,干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加,性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前,發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵,我國(guó)近年來(lái)也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢(shì),國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
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