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離子鍍膜儀

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產(chǎn)品型號(hào)AL-1000

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廠商性質(zhì)其他

所在地北京市

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更新時(shí)間：2025-01-02 10:24:25瀏覽次數(shù)：77次

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北京艾博離子技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

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產(chǎn)品簡介

一、產(chǎn)品特點(diǎn)：1、面積大：0~?25毫米、0~?50毫米

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、面積大：0~?25毫米、0~?50毫米；

2、濺射樣品表面膜層更均勻；

3、顆粒度更小（3nm左右）；

4、濺射到樣品表面能量低，對(duì)樣品損傷小；（適用溫度敏感性高的樣品）

5、可以濺射各種固體靶材（如各種金屬、陶瓷、碳等）；

6、控制精度高，實(shí)驗(yàn)結(jié)果精準(zhǔn)可控重復(fù)性高；

7、在同一真空腔內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)清洗和鍍膜，降低污染樣品造成的數(shù)據(jù)偏差；
8、加入特殊氣體，可進(jìn)行反應(yīng)離子束刻蝕；
9、可實(shí)現(xiàn)的功能有：等離子清洗、鍍膜等；
10、數(shù)字化自動(dòng)控制系統(tǒng)。

二、技術(shù)參數(shù)：

1、真空度：極限真空度5*10-3Pa（不通氬氣）；

2、*高壓：（1）200~6000V；

3、樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)；

4、具有自保護(hù)功能；

5、單離子槍；

6、樣品冷卻：半導(dǎo)體冷卻（選配件）。

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