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單晶生長(zhǎng)爐

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更新時(shí)間:2023-05-15 20:23:00瀏覽次數(shù):441次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)參數(shù):1、爐體:真空爐室尺寸800*1200mm,雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼,爐門(mén)為側(cè)開(kāi)門(mén),爐門(mén)上設(shè)有通水石英觀察窗

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù):

1、爐體:真空爐室尺寸Φ800*1200mm,雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼,爐門(mén)為側(cè)開(kāi)門(mén),爐門(mén)上設(shè)有通水石英觀察窗。

2、中頻電源:產(chǎn)品應(yīng)利用硅元件及IGBT模塊將工頻三相交流電源變換成單相中頻電源。感應(yīng)電源控制器使用不控整流技術(shù),具有高功率因素(>0.95),低電網(wǎng)污染,同時(shí)具有恒電流及恒功率二種控制方式,可始終保持控制器處于有效功率輸出模式,適用于需要頻繁起動(dòng)或長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。人機(jī)控制界面應(yīng)具有通訊功能,RS-485連接方式,可通過(guò)通訊遠(yuǎn)程讀寫(xiě)控制器內(nèi)參數(shù)和運(yùn)行狀態(tài)。

  1)中頻功率:80kw

  2)頻率:2.5-8KHz(可選)

  3)功率因數(shù):>0.9

  4)電源轉(zhuǎn)換效率:>70-95%(中頻電源在使用過(guò)程中隨溫度變化即功率和轉(zhuǎn)換效率隨之變化)

  5)功率穩(wěn)定精度:<0.2%

3、真空系統(tǒng):

  1)要求配備機(jī)械泵2X-8。

  2)真空度:(冷態(tài)空載)≤5Pa(數(shù)顯真空計(jì))

  3)進(jìn)氣流量:1~10L/min(可選配質(zhì)量流量計(jì))

  4)微正壓恒壓自動(dòng)控制:≤0~0.04Mpa

4、加熱系統(tǒng):需要中頻感應(yīng)加熱,工作溫度:100℃~2000℃,工作電源:AC380V/50HZ,測(cè)溫方式:B型熱電偶:

  1)≤1200℃時(shí)功率控制

  2)≥1200℃時(shí)溫度控制

5、控溫方式:需使用液晶觸摸屏顯示,設(shè)置更快捷,設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)更直觀,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;針對(duì)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出,可通過(guò)USB接口復(fù)制數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)上長(zhǎng)期保存,能存儲(chǔ)多條程序。50段編程式控溫曲線,無(wú)需值守(全自動(dòng)升溫、恒溫、降溫)。

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