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單晶生長爐

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更新時間:2023-05-15 20:23:00瀏覽次數:430次

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產品簡介

技術參數:1、爐體:真空爐室尺寸800*1200mm,雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼,爐門為側開門,爐門上設有通水石英觀察窗

詳細介紹

技術參數:

1、爐體:真空爐室尺寸Φ800*1200mm,雙層通水爐壁用ICr18Ni9Ti不銹鋼,爐門為側開門,爐門上設有通水石英觀察窗。

2、中頻電源:產品應利用硅元件及IGBT模塊將工頻三相交流電源變換成單相中頻電源。感應電源控制器使用不控整流技術,具有高功率因素(>0.95),低電網污染,同時具有恒電流及恒功率二種控制方式,可始終保持控制器處于有效功率輸出模式,適用于需要頻繁起動或長時間運行。人機控制界面應具有通訊功能,RS-485連接方式,可通過通訊遠程讀寫控制器內參數和運行狀態(tài)。

  1)中頻功率:80kw

  2)頻率:2.5-8KHz(可選)

  3)功率因數:>0.9

  4)電源轉換效率:>70-95%(中頻電源在使用過程中隨溫度變化即功率和轉換效率隨之變化)

  5)功率穩(wěn)定精度:<0.2%

3、真空系統(tǒng):

  1)要求配備機械泵2X-8。

  2)真空度:(冷態(tài)空載)≤5Pa(數顯真空計)

  3)進氣流量:1~10L/min(可選配質量流量計)

  4)微正壓恒壓自動控制:≤0~0.04Mpa

4、加熱系統(tǒng):需要中頻感應加熱,工作溫度:100℃~2000℃,工作電源:AC380V/50HZ,測溫方式:B型熱電偶:

  1)≤1200℃時功率控制

  2)≥1200℃時溫度控制

5、控溫方式:需使用液晶觸摸屏顯示,設置更快捷,設備運行狀態(tài)更直觀,設定數據和操作都是圖文界面,操作方便;針對數據的存儲、輸出,可通過USB接口復制數據到計算機上長期保存,能存儲多條程序。50段編程式控溫曲線,無需值守(全自動升溫、恒溫、降溫)。

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