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上海拍頻光電科技有限公司


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系統(tǒng)簡介-傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀

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更新時間:2023-05-06 15:59:56瀏覽次數(shù):854次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

一、簡介傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀(TraditionalDual-frequencyLaserInterferometerseries,TDI)采用傳統(tǒng)的空間光傳輸,分辨率可達0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域

詳細介紹



一、簡介

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀(Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series,TDI)采用傳統(tǒng)的空間光傳輸,分辨率可0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域。

上海拍頻光電科技有限公司自主開發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng),主要特點如下:

?支持位移、速度、角度測量

?采用平鏡干涉儀測量,達到4倍光學細分

?具有高數(shù)據(jù)采樣率,支持位移和速度的實時閉環(huán)反饋

?采用雙頻干涉技術,抗力強,易進行多軸擴展,測量結果噪聲低

?單塊數(shù)字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量,并支持多處理器級聯(lián)


二、系統(tǒng)構成

傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。



傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調(diào)底座、導光元件導光元件可調(diào)底座、光纖耦合器光纖、信號處理卡等部件組成。


三、性能參數(shù)

上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀,主要系統(tǒng)參數(shù)如下表:


指標名稱
參數(shù)

測量分辨率(Resolution

0.077nm @ 4 optical division

測量范圍(Range

20m

采樣速率(Sampling rate

10MHz

通訊接口(Interface

VME / ABZ / RS485 / 網(wǎng)口


備注:可定制VPX通訊接口,可定制更高測量分辨率。



關鍵詞:激光干涉儀
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