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上海拍頻光電科技有限公司
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更新時間:2023-05-06 15:59:56瀏覽次數(shù):854次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線一、簡介傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀(TraditionalDual-frequencyLaserInterferometerseries,TDI)采用傳統(tǒng)的空間光傳輸,分辨率可達0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域
一、簡介
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀(Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series,TDI)采用傳統(tǒng)的空間光傳輸,分辨率可達0.077nm,它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能,主要應用于亞納米精密測量領域。
上海拍頻光電科技有限公司自主開發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng),主要特點如下:
?支持位移、速度、角度測量
?采用平鏡干涉儀測量,達到4倍光學細分
?具有高數(shù)據(jù)采樣率,支持位移和速度的實時閉環(huán)反饋
?采用雙頻干涉技術,抗力強,易進行多軸擴展,測量結果噪聲低
?單塊數(shù)字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量,并支持多處理器級聯(lián)
二、系統(tǒng)構成
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調(diào)底座、導光元件、導光元件可調(diào)底座、光纖耦合器、光纖、信號處理卡等部件組成。
三、性能參數(shù)
上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀,主要系統(tǒng)參數(shù)如下表:
指標名稱 | 參數(shù) |
測量分辨率(Resolution) | 0.077nm @ 4 optical division |
測量范圍(Range) | 20m |
采樣速率(Sampling rate) | 10MHz |
通訊接口(Interface) | VME / ABZ / RS485 / 網(wǎng)口 |
備注:可定制VPX通訊接口,可定制更高測量分辨率。
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