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羅茨干式真空泵機(jī)組（JGM系列）

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羅茨干式真空泵機(jī)組（JGM系列）

詳細(xì)介紹

技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目?jī)?nèi)容	性能指標(biāo)
型號(hào)	GM-100A	JGM-500A	JGM-1000A
抽速	100m³/h	480m³/h	800m³/h
極限壓力 (僅軸封氮?dú)獯迪?	10Pa	2X10^-1Pa	2X10^-1Pa
電源	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz
電機(jī)功率	1.5KW	3KW	3.8KW
轉(zhuǎn)速	2865rpm	2865rpm	6000rpm
環(huán)境溫度	5-40 ℃	5-40℃	5-40 ℃
氮?dú)饬髁?	0-60slm	0-60slm	0-14slm
噪聲	<70dB	<70dB	<60dB
進(jìn)氣口連接法蘭	KF50	DN 100 ISO-K	ISO 100
排氣口連接法蘭	KF40	KF40	KF25
外型尺寸	1030×405×530 (mm)	1030×405×910 (mm)	693×280×694 (mm)
重量	255 kg	380kg	230kg

應(yīng)用領(lǐng)域

主要的應(yīng)用領(lǐng)域是集成電路、太陽(yáng)能電池等設(shè)備中的無(wú)油抽氣系統(tǒng)，適用于中度腐蝕工藝和清潔工藝環(huán)境，如進(jìn)樣室、傳輸腔、PVD、硅刻蝕、金屬刻蝕、計(jì)量、光刻等。
其它的應(yīng)用領(lǐng)域包括真空冶金工業(yè)的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理、空間模擬、低密度風(fēng)洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體，化工、食品、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)的蒸餾、蒸發(fā)、干燥等。

產(chǎn)品說明

羅茨干式真空泵機(jī)組 (JGM系列) 產(chǎn)品特點(diǎn)是無(wú)油，可獲得清潔的真空環(huán)境，可抽除可凝性氣體，直接啟動(dòng)、啟動(dòng)快、抽速大、高真空、可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，零維護(hù)、能耗低、體積小、噪音低。

關(guān)鍵詞：電池干式真空泵

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