DVIA-MO主動隔振光學(xué)平臺光學(xué)面包板和DVIA-M有源隔振器的結(jié)合創(chuàng)造出了的混合有源光學(xué)平臺，為高分辨率光譜學(xué)，顯微鏡和精密納米結(jié)構(gòu)研究和制造等挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供了優(yōu)異的振動隔離，使建筑振動降至10Hz以下

詳細(xì)介紹

DVIA-MO主動隔振光學(xué)平臺

光學(xué)面包板和DVIA-M有源隔振器的結(jié)合創(chuàng)造出了的混合有源光學(xué)平臺，為高分辨率光譜學(xué)，顯微鏡和精密納米結(jié)構(gòu)研究和制造等挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供了優(yōu)異的振動隔離，使建筑振動降至10Hz以下。

的主動隔振器

DVIA-MO由四個主動隔振器組成。無源和有源系統(tǒng)的元件被納入有源隔離器; 傳感器和執(zhí)行器安裝在隔離器中，減少1-10 Hz的振動，同時無源隔離系統(tǒng)支持大量有效負(fù)載，并在高頻范圍內(nèi)提供隔振。

主動隔離系統(tǒng)的諧振頻率比無源隔離系統(tǒng)低得多。如上圖所示，主動系統(tǒng)在1-10Hz范圍內(nèi)的振動控制非常出色，被動系統(tǒng)放大低頻振動而不是過濾振動。 DVIA-MB在精密儀器趨于不穩(wěn)定和破壞性的低頻振動中隔離超精密儀器非常有效。主動隔振開始于0.5Hz，DVIA-MB在5Hz時達(dá)到95％，在10Hz時達(dá)到99％。

反饋和前饋算法

DVIA系列使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負(fù)載基座的振動，并即時作出反應(yīng)，限度地減少實(shí)時振動。 DVIA系列采用前饋系統(tǒng)，以預(yù)定義的方式過濾地板振動。

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運(yùn)動（X，Y和Z）以及三個旋轉(zhuǎn)運(yùn)動（俯仰，滾轉(zhuǎn)和偏航）來檢測和控制振動。

每個安裝地點(diǎn)都有不同的振動級別，表明每個安裝地點(diǎn)都需要調(diào)整。因此，我們提供現(xiàn)場調(diào)試，以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng)，這是控制1-10 Hz范圍振動的關(guān)鍵因素。沒有調(diào)整，主動隔離系統(tǒng)不能提供的主動隔離性能。

0.25毫米厚的蜂窩鋼層波紋，以增加其核心密度和最小化其單元尺寸; 這些波紋蜂窩鋼層垂直環(huán)氧樹脂結(jié)合不銹鋼頂部表皮，碳鋼底部皮膚和側(cè)壁，以提供靜態(tài)和動態(tài)剛性，以的性能水平。

我們的蜂窩芯產(chǎn)生的芯密度和最小的蜂窩孔尺寸3.2?，提供了光學(xué)平臺的顯著的剛性。作為有助于增加彈性選擇模量的最小的蜂窩單元，光學(xué)頂端的固有頻率增加。由于我們的光學(xué)陀螺具有較高的固有頻率，減少了環(huán)境振動，阻礙了外力的產(chǎn)生，因此隔振系統(tǒng)是有效的。此外，較高的固有頻率使負(fù)載下的振動強(qiáng)度和偏轉(zhuǎn)最小化，這對于進(jìn)行光學(xué)實(shí)驗是關(guān)鍵的。

單獨(dú)的尼龍杯在每個安裝孔下面都是環(huán)氧樹脂結(jié)合的，以防止發(fā)生化學(xué)或外來物質(zhì)溢出到蜂窩芯中。

我們精心地研磨光學(xué)頂面，以提供干凈，無眩光的工作表面。M6安裝孔位于25毫米的中心，用戶可將其應(yīng)用安裝在光學(xué)平臺上。

性能

設(shè)計光學(xué)頂端的主要目標(biāo)是盡可能地構(gòu)建光學(xué)頂端，DAEIL SYSTEMS自豪地堅持我們的蜂窩光學(xué)頂端滿足客戶。我們的超級剛性光學(xué)頂部通過結(jié)構(gòu)阻尼（蜂窩結(jié)構(gòu)）減少相對運(yùn)動; 因此，蜂窩結(jié)構(gòu)增加了光學(xué)頂端的固有頻率，有效地抵抗了偏轉(zhuǎn)并且使通過隔振的剩余振動最小化。
DAEIL光學(xué)陀螺的性能由柔量曲線測量。柔量曲線指示光學(xué)頂端如何剛性地減弱靜態(tài)力（應(yīng)用的增加或移動）和動態(tài)力（環(huán)境振動）。由于柔順曲線與光學(xué)性能水平密切相關(guān)，DAEIL光學(xué)頂部確保了圖表所示的順應(yīng)性水平。

DVIA-M隔離器的規(guī)格

光學(xué)頂端通用規(guī)格

芯鋼蜂窩芯結(jié)構(gòu)，0.25mm（1in。）厚箔
芯體尺寸3.2?（0.5in2）
核心剪切模量19339kgf / cm2（275,000psi）
表面平整度在600mm2（2 ft。）以上±0.1mm（±0.004 in。）
頂部皮膚430系列鐵磁性不銹鋼4.0mm厚
底部4.5mm厚的碳鋼板
側(cè)墻2.0毫米厚的碳鋼板與阻尼復(fù)合木材
安裝孔M6-1.0（1 / 4-20）
安裝孔柵格25毫米（1英寸）柵格
安裝孔邊界37.5mm（1.5英寸）
安裝孔密封深度21mm清潔圓柱形杯子，耐化學(xué)品的尼龍66材料
阻尼方法寬帶阻尼
相對運(yùn)動1.2 x 10 ^ -10mm（2400 x 1200 x 300 mm）
負(fù)載下的撓度1.1 x 10 ^ -5mm（2400 x 1200 x 300 mm）

動態(tài)2.1 x 10 ^ -5（2400 x 1200 x 300毫米）
偏轉(zhuǎn)系數(shù)

關(guān)鍵詞：光學(xué)平臺顯微鏡隔離器傳感器

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