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brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計返回列表頁

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參考價: ￥ 20000

訂貨量: ≥1000 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號5850EMH / 5851EMH

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

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更新時間：2023-04-21 11:22:10瀏覽次數(shù)：466次

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鄧經(jīng)理

經(jīng)理

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測量范圍	12m3/h	類型	其他

brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許最大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥（可選常開閥）
電致動閥復(fù)位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢

穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺
高流量，高達 100 lpm（N2 當(dāng)量）
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

光纖制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制

5850EMH	5851EMH
流量范圍-滿量程容量	3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)	10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度	±1% FS	±1% FS
重復(fù)性	< ±0.25% of SP	< ±0.25% SP
響應(yīng)時間-常閉	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模擬通訊	0-5 Vdc	0-5 Vdc