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德國(guó)FITOK氣動(dòng)隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹
簡(jiǎn)介
飛托克 DPT 系列兩段式氣動(dòng)隔膜閥專用于半導(dǎo)體行業(yè)，其通過(guò)小流量和大流量之間的快速切換以緩和腔體內(nèi)壓力上升，用于防止流體急驟流入半導(dǎo)體制程機(jī)臺(tái)的腔體等內(nèi)部而造成微粒四處飛揚(yáng)污染腔體。相對(duì)于傳統(tǒng)的通過(guò)增加旁路管道來(lái)調(diào)節(jié)壓力的方式，兩段式氣動(dòng)隔膜閥更節(jié)省空間和成本。
特征
1.可在小流量和大流量間快速切換
2.鈷合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕，使用壽命長(zhǎng)
3.極少產(chǎn)生顆粒和死區(qū)
4.內(nèi)部無(wú)螺紋和彈簧
技術(shù)參數(shù)
