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NTM-ETA 是一款先進(jìn)的高精度和可重復(fù)性高溫計(jì)，設(shè)計(jì)為作為獨(dú)立裝置運(yùn)行或與 NTM-Delta
發(fā)射率獨(dú)立高溫計(jì)結(jié)合使用。
用于溫度計(jì)算的發(fā)射率可以直接從 NTM-Delta 或通過主機(jī)的串行通信輸入
NTM-ETA 的高靈敏度和寬動態(tài)范圍允許精確測量較低的最的低的溫度
NTM-ETA 基于 NTM-Delta 的最的先的進(jìn)的技術(shù)，在全球擁有數(shù)千臺安裝，是一種可靠的低
成本解決方案，適用于 PVD、HDP-CVD、RTP 中的原位非接觸式溫度監(jiān)測和其他過程。
特點(diǎn)與優(yōu)勢
現(xiàn)場、非接觸式監(jiān)測
實(shí)時測量
高靈敏度和寬動態(tài)范圍可實(shí)現(xiàn)最小溫度測量
占地面積小
閉環(huán)控制的快速更新率(高達(dá) 3,000 Hz)
先進(jìn)的通信協(xié)議，包括 LAN、RS232 以及標(biāo)準(zhǔn)模擬和數(shù)字 I/O
針對每個 OEM 工藝環(huán)境定制的后臺補(bǔ)償
BIT(內(nèi)置測試)
提供可選光學(xué)接口，包括遠(yuǎn)程光學(xué)接口
可選嵌入式PID控制器
先進(jìn)、用戶友好的軟件，用于設(shè)置、校準(zhǔn)和數(shù)據(jù)記錄
