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作為在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)體制造現(xiàn)場等的質(zhì)量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測量儀，里昂的能夠測量
粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動化、電氣產(chǎn)品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規(guī)格( 5G )
的普及，半導(dǎo)體市場持續(xù)活躍。 因此，通過開發(fā)和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在
滿足這些市場需求的同時，以大型半導(dǎo)體制造商為首，謀求擴(kuò)大相關(guān)材料、藥液制造商的訂單。
基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統(tǒng)構(gòu)成
主要特點(diǎn)
測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例
