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超聲波與兆聲波的比較
德國sonosys超聲波清洗
LIGA 技術(shù)開發(fā)過程中 40 kHz 和 1 MHz 超聲波頻率的比較
應(yīng)用兆聲波的一個(gè)重要優(yōu)勢是能夠順利清潔極其脆弱的微結(jié)構(gòu)。左圖顯示顯微結(jié)構(gòu)已被40 kHz超聲
波頻率的高空化能量破壞。被破壞的山脊厚度約為。4微米。在 1 MHz 超聲波頻率下，微觀結(jié)構(gòu)保
持不變（右圖）。
破壞了脆弱的微觀結(jié)構(gòu)約。200 µm 高，以 40 kHz 頻率開發(fā)。 | 未損壞的易碎微觀結(jié)構(gòu)，高 400 µm，以 1 MHz 頻率開發(fā)。 |
高縱橫比微結(jié)構(gòu)開發(fā)的工藝支持
當(dāng)通過 X 射線光刻生產(chǎn)微結(jié)構(gòu)時(shí)，致密和深層結(jié)構(gòu)的無殘留開發(fā)尤為重要。
在高縱橫比的微結(jié)構(gòu)（例如LIGA技術(shù)）的開發(fā)過程中，由于產(chǎn)生的微流，顆粒被完的全沖走，開發(fā)時(shí)
間縮短了7倍。對于脆弱的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)的深度可以增加 2 倍。
在沒有兆聲波支持的情況下開發(fā)的微觀結(jié)構(gòu) | 在兆聲波支持下開發(fā)的微觀結(jié)構(gòu) |
