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超聲波與兆聲波的比較
德國(guó)sonosys超聲波清洗
LIGA 技術(shù)開(kāi)發(fā)過(guò)程中 40 kHz 和 1 MHz 超聲波頻率的比較
應(yīng)用兆聲波的一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)是能夠順利清潔極其脆弱的微結(jié)構(gòu)。左圖顯示顯微結(jié)構(gòu)已被40 kHz超聲
波頻率的高空化能量破壞。被破壞的山脊厚度約為。4微米。在 1 MHz 超聲波頻率下,微觀結(jié)構(gòu)保
持不變(右圖)。


破壞了脆弱的微觀結(jié)構(gòu)約。200 µm 高,以 40 kHz 頻率開(kāi)發(fā)。 | 未損壞的易碎微觀結(jié)構(gòu),高 400 µm,以 1 MHz 頻率開(kāi)發(fā)。 |
高縱橫比微結(jié)構(gòu)開(kāi)發(fā)的工藝支持
當(dāng)通過(guò) X 射線光刻生產(chǎn)微結(jié)構(gòu)時(shí),致密和深層結(jié)構(gòu)的無(wú)殘留開(kāi)發(fā)尤為重要。
在高縱橫比的微結(jié)構(gòu)(例如LIGA技術(shù))的開(kāi)發(fā)過(guò)程中,由于產(chǎn)生的微流,顆粒被完的全沖走,開(kāi)發(fā)時(shí)
間縮短了7倍。對(duì)于脆弱的結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)的深度可以增加 2 倍。


在沒(méi)有兆聲波支持的情況下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu) | 在兆聲波支持下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu) |