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Tergeo系列臺式等離子清洗機 等離子體清洗、蝕刻、表面處理

2023-11-14　　閱讀(355)

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Tergeo系列臺式等離子清洗機

等離子體清洗、蝕刻、表面處理

QQ截圖20231114114958.jpg

產(chǎn)生氧氣、氬氣、氮氣、氫氣、CF4、SF6、環(huán)境空氣或其他混合氣體等離子體，以灰化光刻膠、在

圖案化后去渣、蝕刻二氧化硅和氮化物、去除碳氫化合物和其他表面污染物、改變表面能并提高結(jié)合

強度。Tergeo系列等離子體系統(tǒng)是需要在低壓下操作的真空等離子體系統(tǒng)。槍膛直徑為4.3英寸/110

毫米、6.3英寸/160毫米和9英寸/230毫米。腔體的深度為11英寸/280毫米或13.4英寸/340毫米。這

是一種低成本、高性能的實驗室等離子體清潔器，建立在等離子和離子束技術(shù)組在勞倫斯伯克利國家

實驗室。

Tergeo系列等離子體系統(tǒng)在全球?qū)W術(shù)界廣的受的好的評。這兩年提到太地等離子體系統(tǒng)的科學論文爆了！

請搜索"地球同步等離子體“上谷歌學術(shù)看看吧！這是直接鏈路出版物的部分列表。我們預計我們在

學術(shù)界的用戶群將繼續(xù)快速增長，因為我們?yōu)閷W術(shù)界帶來了最新的等離子技術(shù)，并以可承受的價格構(gòu)

建了多功能、可靠、性能可重復的等離子系統(tǒng)。


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