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主動(dòng)式真空計(jì)
CDG-500 電容薄膜真空計(jì)
Agilent CDG-500 系列溫度補(bǔ)償電容薄膜真空計(jì)可在高壓區(qū)域內(nèi)提供高水平的準(zhǔn)確度?？商峁?1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程測(cè)量。
CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷隔膜，可提供超常的信號(hào)穩(wěn)定性，并具有從大氣環(huán)境中快速恢復(fù)、預(yù)熱時(shí)間短和堅(jiān)固性沒(méi)有可以相比的特點(diǎn)。
廣泛應(yīng)用于薄膜和真空工藝、工業(yè)真空、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和半導(dǎo)體制造等應(yīng)用。
特性
全量程為 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按鈕調(diào)零，可選設(shè)定點(diǎn)控制易于集成
優(yōu)異的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性和重現(xiàn)性
從大氣壓下恢復(fù)迅速，啟動(dòng)后迅速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，縮短了過(guò)程循環(huán)時(shí)間
采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護(hù)，確保了堅(jiān)固耐用
高水平的準(zhǔn)確度(讀數(shù)的 0.2%)
