IR-300系列

氣體濃度監(jiān)測儀

用于鼓泡供應管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。用于原料氣體的穩(wěn)定供應。

MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）廣泛應用于LED制造工藝和光學器件制造工藝中。該 MOCVD 設備采用液體/固體材料，通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應線路中，實時氣體濃度監(jiān)測對于實現(xiàn)穩(wěn)定的薄膜沉積過程非常重要。氣體濃度監(jiān)測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設備的原料氣供應線上，可實現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測。支持原料氣體的穩(wěn)定供應?！?/span>

非色散紅外吸收法（NDIR法）

非色散紅外吸收法利用紅外光源發(fā)出的紅外光被氣體分子吸收的現(xiàn)象。
IR-400 系列將具有待測氣體吸收的樣品輸出與未經(jīng)吸收的參考輸出進行比較，并將其轉換為氣體濃度。通過采用這種雙光束方法，可以實現(xiàn)長期穩(wěn)定的測量。HORIBA在化合物半導體、汽車、物理和化學設備以及環(huán)境測量設備等廣泛領域中使用這種氣體分析方法有著良好的記錄，并將該技術應用于IR-400系列。