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微極分析儀
MICROPOLE系統(tǒng)的特點(diǎn)是MICROPOLE分析儀（MPA），它使用超精密光學(xué)蝕刻技術(shù)和玻璃/金屬粘合技術(shù)將九個四極桿組組合在一起。該MPA的開發(fā)產(chǎn)生了很小小小小的殘余氣體分析儀，其性能相當(dāng)于或優(yōu)于大型質(zhì)譜儀。該分析儀為插入式單元型，只需安裝已預(yù)先校準(zhǔn)分壓的傳感器單元即可測量總壓和分壓的絕對值。
測量原理
RGA 由離子源、質(zhì)譜儀和測量部分組成。殘余氣體通過與高溫?zé)艚z發(fā)射的熱電子碰撞而電離，產(chǎn)生的離子被加速、聚焦并引導(dǎo)至質(zhì)譜儀。在質(zhì)譜儀中，通過向四個圓柱形電極（四極）施加直流和交流電壓來篩選離子質(zhì)量。分離出的離子在法拉第杯中被檢測為電流，該離子電流與殘留氣體量（分壓）成正比。
