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使用一臺設(shè)備應(yīng)對多種氣體相當(dāng)于實現(xiàn)了工藝靈活性和生產(chǎn)效率大化。采用布魯克斯儀器獨 MultiFlo™ 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準(zhǔn)確性的同時重新設(shè)定測量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與的流量測量和控制性能相結(jié)合，能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。
特點
可編程多氣體/多量程功能
氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)
流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達(dá)目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
非常適用于各種氣體
快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器
擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
優(yōu)勢
技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而最大限度延長運行時間
程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度
耐腐蝕傳感器擁有的長期穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能大化
對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作
各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)實惠的性能靈活性
多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)
應(yīng)用
太陽能電池化學(xué)氣相沉積
生命科學(xué)實驗室
真空處理
納米技術(shù)/MEMS 制造
等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)
